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硅基聚合物热光开关器件及其可靠性研究

摘要第4-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第12-30页
    1.1 光开关的主要应用第12-13页
    1.2 光开关的基本类型第13-16页
    1.3 热光开关的研究进展第16-27页
    1.4 本论文的主要工作及创新点第27-30页
第二章 热光开关的基本理论第30-47页
    2.1 波导的电磁理论第30-31页
    2.2 波导的模式分析第31-39页
        2.2.1 三层平板波导的模式分析第32-35页
        2.2.2 矩形波导的模式分析第35-36页
        2.2.3 脊型波导的模式分析第36-39页
    2.3 热光效应第39-41页
    2.4 热传导方程第41-44页
    2.5 MZI型热光开关的工作原理第44-46页
    2.6 小结第46-47页
第三章 硅基聚合物波导MZI热光开关的设计与制备第47-75页
    3.1 热光开关材料的选取及特性第47-48页
    3.2 仪器设备第48-51页
    3.3 微加热电极的设计第51-56页
    3.4 有机无机混合矩型波导结构的MZI型热光开关第56-65页
        3.4.1 结构设计第56-59页
        3.4.2 热场分析第59-62页
        3.4.3 器件制备第62-65页
    3.5 脊型波导结构的MZI型热光开关第65-74页
        3.5.1 全聚合物脊型波导结构的MZI型热光开关第65-70页
        3.5.2 有机无机复合脊型波导结构的MZI型热光开关第70-72页
        3.5.3 器件制备第72-74页
    3.6 小结第74-75页
第四章 具有空气槽结构的热光开关的设计与制备第75-84页
    4.1 结构设计和模拟分析第75-80页
    4.2 器件制备第80页
    4.3 测试分析第80-83页
    4.4 小结第83-84页
第五章 热光开关稳定性与可靠性实验分析第84-97页
    5.1 工作温度对热光开关特性参数的影响第84-91页
    5.2 热光开关的可靠性测试第91-93页
    5.3 热光开关的偏振相关损耗测试第93页
    5.4 热光开关的长期稳定性测试第93-96页
    5.5 小结第96-97页
第六章 结论第97-100页
    6.1 工作总结第97-99页
    6.2 未来工作的展望第99-100页
参考文献第100-110页
博士期间发表的论文第110-111页
致谢第111页

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