圆管外表面电解蚀刻机床设计及分析
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 插图清单 | 第13-15页 |
| 插表清单 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-23页 |
| 1.1 引言 | 第16页 |
| 1.2 课题来源 | 第16页 |
| 1.3 电解加工 | 第16-18页 |
| 1.4 电解蚀刻技术及装备国内外的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第19-21页 |
| 1.5 课题目的及意义 | 第21页 |
| 1.6 本课题的研究内容及方法 | 第21-23页 |
| 第2章 圆管外表面电解蚀刻加工原理 | 第23-31页 |
| 2.1 电解加工基本原理及基本理论 | 第23-24页 |
| 2.1.1 法拉第定律 | 第23-24页 |
| 2.1.2 电流效率 | 第24页 |
| 2.2 电解蚀刻加工基本原理 | 第24-26页 |
| 2.2.1 晶面电解选择性蚀刻的机理 | 第25-26页 |
| 2.3 加工间隙中的电场、流场的相关理论 | 第26-30页 |
| 2.3.1 电场与电解加工间隙的关系 | 第26-27页 |
| 2.3.2 加工间隙中的电场特征 | 第27-29页 |
| 2.3.3 流场与电解蚀刻加工间隙的关系 | 第29页 |
| 2.3.4 加工间隙中气液两相流动特征 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 电解蚀刻机床设计 | 第31-52页 |
| 3.1 电解蚀刻加工机床的组成和设计要求 | 第31-33页 |
| 3.1.1 机床的组成部分及特点 | 第31-32页 |
| 3.1.2 机床的基本要求 | 第32-33页 |
| 3.2 电解蚀刻机床总体方案设计 | 第33-37页 |
| 3.2.1 机床运动分析 | 第34页 |
| 3.2.2 机床总体方案 | 第34-37页 |
| 3.3 电解蚀刻工作箱设计 | 第37-40页 |
| 3.3.1 工作箱箱体设计 | 第37-39页 |
| 3.3.2 工作箱密封设计 | 第39-40页 |
| 3.4 伺服进给系统设计 | 第40-48页 |
| 3.4.1 丝杠选型 | 第41-45页 |
| 3.4.2 伺服电机选型 | 第45-48页 |
| 3.5 电解液系统设计 | 第48-50页 |
| 3.5.1 电解液的净化 | 第49页 |
| 3.5.2 电解液恒温系统 | 第49-50页 |
| 3.6 加工电源 | 第50-51页 |
| 3.7 电解蚀刻机床参数 | 第51页 |
| 3.8 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 电解蚀刻机床关键部件设计与分析 | 第52-70页 |
| 4.1 阴极设计 | 第52-56页 |
| 4.1.1 阴极设计理论基础 | 第52-53页 |
| 4.1.2 阴极设计方法 | 第53-56页 |
| 4.2 流场设计与分析 | 第56-60页 |
| 4.2.1 流场设计分析 | 第56-59页 |
| 4.2.2 阴极夹具设计 | 第59-60页 |
| 4.3 电解蚀刻机床床身有限元分析与优化 | 第60-65页 |
| 4.3.1 床身结构分析方案 | 第60-61页 |
| 4.3.2 几何模型建立 | 第61页 |
| 4.3.3 模型简化 | 第61-62页 |
| 4.3.4 划分网格与分析计算 | 第62-65页 |
| 4.4 电解蚀刻机床床身模态分析 | 第65-66页 |
| 4.5 电解蚀刻机床本体优化设计 | 第66-69页 |
| 4.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 电解蚀刻机床控制系统软件设计 | 第70-81页 |
| 5.1 控制系统设计要求 | 第70-71页 |
| 5.1.1 机床运动分析 | 第70页 |
| 5.1.2 控制系统设计要求 | 第70-71页 |
| 5.2 控制系统总体设计方案 | 第71-73页 |
| 5.2.1 伺服驱动系统控制方案 | 第72页 |
| 5.2.2 温度控制方案 | 第72-73页 |
| 5.3 控制系统软件总体设计 | 第73-74页 |
| 5.4 人机交互界面与程序设计 | 第74-80页 |
| 5.4.1 主操作界面设计 | 第74-76页 |
| 5.4.2 手动加工程序及界面设计 | 第76-77页 |
| 5.4.3 自动加工程序及界面设计 | 第77-78页 |
| 5.4.4 断电保护程序及报警界面设计 | 第78-79页 |
| 5.4.5 快动、点动程序模块设计 | 第79-80页 |
| 5.4.6 PLC及触摸屏的选型 | 第80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 第6章 总结及展望 | 第81-83页 |
| 6.1 总结 | 第81页 |
| 6.2 展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第88页 |
