| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 简介 | 第10-11页 |
| 1.2 气体传感器 | 第11-16页 |
| 1.2.1 概述 | 第11页 |
| 1.2.2 气体传感器的应用 | 第11-12页 |
| 1.2.3 气体传感器的技术参数 | 第12-14页 |
| 1.2.4 气体传感器的分类 | 第14-15页 |
| 1.2.5 气体传感器材料的制备方法 | 第15-16页 |
| 1.3 金属氧化物半导体 | 第16-19页 |
| 1.4 半导体传感器的传感机理 | 第19-21页 |
| 1.5 SnO_2气敏传感器及研究现状 | 第21-22页 |
| 1.6 La_2O_3简介 | 第22-23页 |
| 1.7 C_2H_5OH气敏元件发展状况以及提高选择性的研究 | 第23-24页 |
| 1.8 本课题的研究内容和意义 | 第24-25页 |
| 第2章 实验部分 | 第25-33页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第25-26页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第25页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.2 实验过程 | 第26-33页 |
| 2.2.1 La_2O_3/SnO_2膜的制备 | 第26页 |
| 2.2.2 反应装置 | 第26-29页 |
| 2.2.3 气敏性检测 | 第29-33页 |
| 第3章 结果与讨论 | 第33-50页 |
| 3.1 电沉积过程对Sn膜的影响 | 第33-36页 |
| 3.1.1 电流大小的影响 | 第33-35页 |
| 3.1.2 沉积时间的影响 | 第35-36页 |
| 3.2 LaCl_3溶液的影响 | 第36-38页 |
| 3.2.1 电沉积过程 | 第36页 |
| 3.2.2 沉积时间的影响 | 第36-38页 |
| 3.3 气敏效果的影响因素 | 第38-47页 |
| 3.3.1 温度 | 第38-40页 |
| 3.3.2 浓度 | 第40-41页 |
| 3.3.3 掺杂材料的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.4 在LaCl_3溶液中的沉积时间的影响 | 第42-45页 |
| 3.3.5 选择性 | 第45-46页 |
| 3.3.6 稳定性 | 第46-47页 |
| 3.4 敏感机理 | 第47-50页 |
| 3.4.1 混合气体的吸附原理 | 第47-48页 |
| 3.4.2 C_2H_5OH的反应机理及La_2_O3的作用 | 第48-50页 |
| 第4章 结论 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 致谢 | 第58页 |