第一章 绪 论 | 第7-23页 |
第一节 金刚石的结构 | 第7-9页 |
第二节 金刚石的性质与应用 | 第9-14页 |
第三节 CVD 金刚石的发展历史与现状 | 第14-18页 |
第四节 常用的制备金刚石膜方法简介 | 第18-21页 |
第五节 论文的选题和内容 | 第21-23页 |
第二章 大电流高气压下气体的辉光放电 | 第23-54页 |
第一节 低压气体的放电与击穿 | 第24-26页 |
第二节 低压气体的直流辉光放电 | 第26-30页 |
第三节 高 气 压 下 直 流 辉 光 放 电 的 产 生 与 维 持 | 第30-38页 |
第四节 高气压下直流辉光放电特点 | 第38-52页 |
第五节 本章小结 | 第52-54页 |
第三章 金刚石膜的生长特性研究 | 第54-94页 |
第一节 装置 | 第55-58页 |
第二节 金刚石膜的生长速率 | 第58-67页 |
第三节 金刚石膜的表面形貌及晶粒取向 | 第67-76页 |
第四节 金刚石膜的截面特性 | 第76-81页 |
第五节 金钢石膜品质研究 | 第81-86页 |
第六节 金刚石膜的均匀性、爆裂和微裂纹 | 第86-92页 |
第七节 本章小节 | 第92-94页 |
第四章 金刚石膜的热导率、耐磨性及工具 | 第94-113页 |
第一节 金刚石膜的热导率 | 第94-97页 |
第二节 高热导率金刚石膜的特点及制备条件 | 第97-101页 |
第三节 金刚石膜的耐磨性能研究 | 第101-104页 |
第四节 金 刚 石 膜 工 具 的 制 备 | 第104-112页 |
第五节 本章小节 | 第112-113页 |
第五章 全文总结 | 第113-125页 |
致谢 | 第125-126页 |
博士期间主要成果 | 第126-130页 |
中文摘要 | 第130-134页 |
英文摘要 | 第134页 |