| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题的来源及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 KDP晶体材料概述 | 第11-14页 |
| 1.2.1 KDP晶体的结构特点 | 第12-13页 |
| 1.2.2 KDP晶体的性能 | 第13-14页 |
| 1.2.3 KDP晶体的应用 | 第14页 |
| 1.3 表面形貌的研究及其功能 | 第14-15页 |
| 1.3.1 表面形貌的定义及特点 | 第14-15页 |
| 1.3.2 表面形貌研究的主要内容 | 第15页 |
| 1.4 KDP晶体表面形貌分析方法的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 KDP晶体的超精密加工方法研究现状 | 第16-19页 |
| 1.5.1 国外发展状况 | 第17页 |
| 1.5.2 国内发展状况 | 第17-18页 |
| 1.5.3 KDP晶体加工方法综述 | 第18-19页 |
| 1.6 论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 KDP晶体飞刀切削工艺试验及优化 | 第20-42页 |
| 2.1 单点金刚石飞刀切削技术的优势及原理 | 第20-21页 |
| 2.1.1 单点金刚石飞刀切削技术的优势 | 第20页 |
| 2.1.2 单点金刚石飞刀切削技术的原理 | 第20-21页 |
| 2.2 KDP晶体单点金刚石飞刀切削加工工艺试验优化 | 第21-31页 |
| 2.2.1 试验加工条件 | 第21-26页 |
| 2.2.2 试验优化方法的选择 | 第26-27页 |
| 2.2.3 二次通用旋转组合试验设计的原理与方法 | 第27-29页 |
| 2.2.4 试验指标与试验因素的选择 | 第29页 |
| 2.2.5 因素水平的确定及编码 | 第29-30页 |
| 2.2.6 KDP晶体SPDT加工二次通用旋转组合试验的优化设计 | 第30-31页 |
| 2.3 KDP晶体的加工工艺试验 | 第31-34页 |
| 2.3.1 试验实施方案 | 第31-33页 |
| 2.3.2 试验步骤 | 第33-34页 |
| 2.4 试验结果 | 第34-35页 |
| 2.5 加工工艺参数对KDP晶体表面粗糙度和波纹度的优化 | 第35-36页 |
| 2.5.1 回归模型的建立 | 第35页 |
| 2.5.2 基于表面粗糙度、波纹度回归模型的加工工艺参数优化 | 第35-36页 |
| 2.6 KDP晶体表面质量偏最小二乘回归分析及优化 | 第36-38页 |
| 2.6.1 KDP晶体表面质量偏最小二乘回归分析 | 第36-37页 |
| 2.6.2 KDP晶体加工工艺方案多目标优化 | 第37-38页 |
| 2.7 大口径KDP晶体加工试验 | 第38-40页 |
| 2.8 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 KDP晶体表面中低频波纹形成的理论分析 | 第42-52页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 中频波纹形成的理论分析 | 第42-47页 |
| 3.2.1 空气主轴动特性分析的理论基础 | 第42-44页 |
| 3.2.2 波纹频率与幅值影响要素的分析 | 第44-47页 |
| 3.3 模态分析 | 第47-51页 |
| 3.3.1 模态分析概述 | 第47-48页 |
| 3.3.2 刀盘的模态分析 | 第48-50页 |
| 3.3.3 刀盘和主轴的模态分析 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 纳米机床切削振动原因试验与分析 | 第52-116页 |
| 4.1 LMS设备简介 | 第52-53页 |
| 4.2 机床不同工况下的LMS信号采集 | 第53-54页 |
| 4.2.1 传感器的选择与安装 | 第53页 |
| 4.2.2 LMS检测系统的设置 | 第53-54页 |
| 4.3 LMS检测不同工况下的结果分析 | 第54-99页 |
| 4.3.1 LMS检测传感器的布置 | 第54页 |
| 4.3.2 环境工况实验 | 第54-59页 |
| 4.3.3 启油泵气泵工况实验 | 第59-63页 |
| 4.3.4 主轴 100RPM空转工况实验 | 第63-67页 |
| 4.3.5 主轴 188RPM空转工况实验 | 第67-71页 |
| 4.3.6 主轴箱不同工况下各向振动情况 | 第71-75页 |
| 4.3.7 工作台不同工况下各向振动情况 | 第75-77页 |
| 4.3.8 主轴 188RPM，3mm/s切削工况 | 第77-90页 |
| 4.3.9 主轴 188RPM，3mm/s切削工况 | 第90-93页 |
| 4.3.10 不同工况下主轴箱与工作台的振动情况 | 第93-99页 |
| 4.4 工作台锤击实验 | 第99-106页 |
| 4.4.1 传感器布置 | 第99页 |
| 4.4.2 环境噪声-工作台及工作台基座振动情况 | 第99-101页 |
| 4.4.3 气泵油泵影响-工作台及工作台基座振动情况 | 第101-103页 |
| 4.4.4 Y向锤击实验-锤击作用力 | 第103-105页 |
| 4.4.5 Z向锤击实验-时域与频域响应 | 第105-106页 |
| 4.5 主轴锤击实验 | 第106-115页 |
| 4.5.1 传感器布置 | 第106页 |
| 4.5.2 油泵停气泵开振动噪声-锤击刀柄处 | 第106-108页 |
| 4.5.3 油气泵振动噪声-非锤击刀柄处 | 第108-109页 |
| 4.5.4 油气泵振动噪声-刀柄处Z向振动 | 第109-110页 |
| 4.5.5 油气泵振动噪声-刀柄处Y向振动 | 第110-112页 |
| 4.5.6 油气泵振动噪声-刀盘Z向振动 | 第112-113页 |
| 4.5.7 油气泵振动噪声-锤击刀柄处 | 第113-114页 |
| 4.5.8 刀架Y向锤击实验 | 第114-115页 |
| 4.6 本章小结 | 第115-116页 |
| 第5章 纳米机床切削主轴振动原因的试验与分析 | 第116-134页 |
| 5.1 实验前期准备 | 第116-121页 |
| 5.1.1 传感器的布置 | 第116页 |
| 5.1.2 工况介绍 | 第116-117页 |
| 5.1.3 锤击主轴实验结果 | 第117-120页 |
| 5.1.4 锤击试验结果对比分析 | 第120-121页 |
| 5.2 各工况下主轴Z向振动实验 | 第121-128页 |
| 5.2.1 传感器的布置 | 第121页 |
| 5.2.2 环境背景噪声 | 第121-122页 |
| 5.2.3 仅启气泵的工况 | 第122-123页 |
| 5.2.4 仅工作台供油，气泵停的情况下 | 第123-124页 |
| 5.2.5 主轴与工作台供油，气泵停的情况下 | 第124-125页 |
| 5.2.6 主轴与工作台供油，气泵开的情况下 | 第125-126页 |
| 5.2.7 工作台供油，气泵开，主轴停油的情况下 | 第126-127页 |
| 5.2.8 各工况比较 | 第127-128页 |
| 5.3 主轴测试结果分析 | 第128-132页 |
| 5.3.1 切削过程中，主轴刀架处的振动情况 | 第128-129页 |
| 5.3.2 切削过程中，刀尖处的振动情况分析 | 第129-132页 |
| 5.4 本章小结 | 第132-134页 |
| 结论 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-140页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142页 |
