| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景与研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 等离子体概述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 等离子体的定义及其相关重要概念 | 第10-11页 |
| 1.2.2 等离子体的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.3 低温等离子体的生成 | 第12-13页 |
| 1.3 等离子体辉光放电的研究 | 第13-17页 |
| 13.1 辉光放电原理分析与产生条件 | 第13-15页 |
| 1.3.2 汤生放电理论简介 | 第15-17页 |
| 1.3.3 低气压辉光放电过程中放电模式的阐述 | 第17页 |
| 1.4 低温等离子体技术研究面临的问题 | 第17-18页 |
| 1.5 主要研究工作与内容安排 | 第18-20页 |
| 2 等离子体放电的数值研究方法与流体模型建立 | 第20-32页 |
| 2.1 低温等离子体的数值研究方法 | 第20-22页 |
| 2.2 低气压氩气辉光放电等离子体的流体模型建立 | 第22-25页 |
| 2.2.1 建立流体模型的条件 | 第22-23页 |
| 2.2.2 等离子体流体模型方程 | 第23-25页 |
| 2.3 流体模型的计算方法 | 第25-31页 |
| 2.3.1 分量方程 | 第25-26页 |
| 2.3.2 初始条件和边界条件 | 第26页 |
| 2.3.3 无量纲化 | 第26-27页 |
| 2.3.4 差分格式 | 第27-29页 |
| 2.3.5 计算步骤 | 第29-30页 |
| 2.3.6 计算参数 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 低气压射频氩气辉光放电等离子体演化特性的数值研究 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 数值结果与讨论分析 | 第32-41页 |
| 3.2.1 电场和电势的演化 | 第33-34页 |
| 3.2.2 电子密度和离子密度的演化 | 第34-35页 |
| 3.2.3 电子温度和电离率的演化 | 第35-37页 |
| 3.2.4 电子净能量吸收、功率沉积以及能量转移和耗散的演化 | 第37-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 二次电子发射对低气压射频氩气辉光放电特性的影响 | 第42-51页 |
| 4.1 引言 | 第42-44页 |
| 4.2 数值结果与讨论分析 | 第44-50页 |
| 4.2.1 γ对等离子体电场、电势和电子温度的影响 | 第45-46页 |
| 4.2.2 γ对电子能量吸收、转移和耗散的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.3 γ对放电电离的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.4 γ对电子密度的影响 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
