| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 从微电子到光电子 | 第15-17页 |
| 1.1.1 微电子技术所面临的挑战 | 第15-16页 |
| 1.1.2 硅基光电子学的机遇 | 第16-17页 |
| 1.2 微纳光栅在硅基集成光路中的应用 | 第17-23页 |
| 1.2.1 微纳光栅耦合器 | 第17-20页 |
| 1.2.2 微纳慢光光栅 | 第20-21页 |
| 1.2.3 微纳光栅反射镜 | 第21-23页 |
| 1.3 微纳多齿谐振光栅简介 | 第23-25页 |
| 1.4 本文的主要研究工作 | 第25-27页 |
| 第二章 基本理论背景 | 第27-43页 |
| 2.1 严格耦合波分析方法简介 | 第27-36页 |
| 2.1.1 一维光栅严格耦合波分析方法 | 第27-33页 |
| 2.1.2 二维多层多齿光栅严格耦合波分析方法 | 第33-36页 |
| 2.2 时域有限差分算法简介 | 第36-39页 |
| 2.3 平面波展开法简介 | 第39-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 微纳多齿谐振光栅宽带慢光器件的设计及性能研究 | 第43-61页 |
| 3.1 引言 | 第43-46页 |
| 3.2 多齿谐振光栅宽带慢光器件 | 第46-60页 |
| 3.2.1 结构设计 | 第46页 |
| 3.2.2 光栅参数与慢光的关系 | 第46-48页 |
| 3.2.3 结果与分析 | 第48-60页 |
| 3.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 双功能偏振分束器的设计及性能研究 | 第61-72页 |
| 4.1 引言 | 第61-64页 |
| 4.2 亚波长多齿双功能光栅偏振分束器 | 第64-71页 |
| 4.2.1 结构设计 | 第64-66页 |
| 4.2.2 参数分析 | 第66-71页 |
| 4.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 非偏振宽带光栅反射镜的设计及性能研究 | 第72-90页 |
| 5.1 引言 | 第72-74页 |
| 5.2 结构设计、器件制备与测试 | 第74-87页 |
| 5.2.1 结构设计 | 第74-75页 |
| 5.2.2 器件制备 | 第75-82页 |
| 5.2.3 性能测试及结果分析 | 第82-87页 |
| 5.3 参数分析 | 第87-89页 |
| 5.4 本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 微纳多齿谐振光栅耦合器的设计及研究 | 第90-102页 |
| 6.1 引言 | 第90-93页 |
| 6.2 多齿谐振光栅耦合器设计及分析 | 第93-100页 |
| 6.2.1 布拉格条件 | 第93-95页 |
| 6.2.2 结构优化设计及分析 | 第95-98页 |
| 6.2.3 参数分析 | 第98-100页 |
| 6.3 本章小结 | 第100-102页 |
| 第七章 总结与展望 | 第102-105页 |
| 7.1 全文总结 | 第102-103页 |
| 7.2 研究展望 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第115页 |