| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第15-39页 |
| 1.1 微机械陀螺概述 | 第15-20页 |
| 1.1.1 微机械陀螺的工作原理 | 第15-19页 |
| 1.1.2 微机械陀螺的性能指标 | 第19页 |
| 1.1.3 Allan方差 | 第19-20页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第20-28页 |
| 1.3 微机械陀螺在浙大 | 第28-35页 |
| 1.3.1 课题组研究成果 | 第28-29页 |
| 1.3.2 栅结构微机械陀螺器件 | 第29-32页 |
| 1.3.3 小型化陀螺系统板 | 第32-35页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第35-39页 |
| 2 微机械陀螺的器件特性测量方法 | 第39-61页 |
| 2.1 介绍 | 第39页 |
| 2.2 理论 | 第39-50页 |
| 2.2.1 基于模态扫频技术的器件特性测量方案 | 第40-46页 |
| 2.2.2 基于振动衰减曲线的器件特性测量方案 | 第46-48页 |
| 2.2.3 基于PLL-AGC控制环路的器件特性测量方案 | 第48-50页 |
| 2.2.4 讨论 | 第50页 |
| 2.3 实验结果 | 第50-59页 |
| 2.3.1 模态扫频方案的实验 | 第51-53页 |
| 2.3.2 改进的振动衰减曲线方案的实验 | 第53-56页 |
| 2.3.3 陀螺器件特性的温度实验 | 第56-59页 |
| 2.4 小结 | 第59-61页 |
| 3 一种自校准的变面积电容检测方法 | 第61-79页 |
| 3.1 介绍 | 第61-62页 |
| 3.2 理论分析 | 第62-67页 |
| 3.2.1 常规电容检测方法 | 第62-64页 |
| 3.2.2 TEB电容检测方法 | 第64-67页 |
| 3.3 实验结果 | 第67-75页 |
| 3.3.1 TEB电容检测方法的实验 | 第68-72页 |
| 3.3.2 TEB电容检测方法在微机械陀螺的应用 | 第72-75页 |
| 3.4 讨论 | 第75-76页 |
| 3.5 小结 | 第76-79页 |
| 4 微机械陀螺的系统噪声分析 | 第79-109页 |
| 4.1 一种基于改进的机电幅度调制技术的驱动环路控制方案 | 第79-89页 |
| 4.1.1 介绍 | 第79-80页 |
| 4.1.2 理论分析 | 第80-84页 |
| 4.1.3 数值仿真 | 第84-85页 |
| 4.1.4 实验结果 | 第85-89页 |
| 4.2 力平衡检测环路的传递函数分析 | 第89-99页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第89-93页 |
| 4.2.2 数值仿真 | 第93-98页 |
| 4.2.3 讨论 | 第98-99页 |
| 4.3 力平衡检测环路的噪声分析 | 第99-107页 |
| 4.3.1 机械热噪声 | 第99-100页 |
| 4.3.2 后端电路噪声 | 第100-103页 |
| 4.3.3 前端电路噪声 | 第103页 |
| 4.3.4 系统噪声等效角速度 | 第103-105页 |
| 4.3.5 实验结果 | 第105-107页 |
| 4.4 小结 | 第107-109页 |
| 5 微机械陀螺的模态匹配算法 | 第109-125页 |
| 5.1 介绍 | 第109页 |
| 5.2 线性调谐栅结构微机械陀螺 | 第109-111页 |
| 5.3 控制系统 | 第111-113页 |
| 5.4 理论分析 | 第113-115页 |
| 5.5 数值仿真 | 第115-119页 |
| 5.5.1 仿真过程1:调谐时间短、调谐精度高 | 第116-117页 |
| 5.5.2 仿真过程2:对环境角速度输入具有鲁棒性 | 第117-118页 |
| 5.5.3 仿真过程3:I_(ref)阶跃跳变改进为I_(ref)斜坡缓变 | 第118-119页 |
| 5.6 实验结果 | 第119-122页 |
| 5.7 小结 | 第122-125页 |
| 6 总结与展望 | 第125-129页 |
| 6.1 总结 | 第125-126页 |
| 6.2 展望 | 第126-129页 |
| 参考文献 | 第129-139页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第139页 |
