| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-17页 |
| 1.1.1 大尺寸平面衍射光栅应用领域 | 第13页 |
| 1.1.2 单块大尺寸平面衍射光栅制作难点 | 第13-14页 |
| 1.1.3 拼接法制作大尺寸平面衍射光栅 | 第14-17页 |
| 1.2 光栅拼接检测技术研究现状 | 第17-30页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第18-22页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第22-29页 |
| 1.2.3 光栅拼接误差检测技术研究中的问题和难点 | 第29-30页 |
| 1.3 课题的提出和研究内容 | 第30-31页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第31-33页 |
| 第2章 光栅拼接误差模型建立方法 | 第33-55页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 光栅拼接误差与衍射波前关系的理论模型 | 第33-40页 |
| 2.2.1 绕光栅栅线转角产生的光程差 | 第34-35页 |
| 2.2.2 绕光栅矢量转角产生的光程差 | 第35-37页 |
| 2.2.3 绕光栅法线转角产生的光程差 | 第37-39页 |
| 2.2.4 沿光栅法线平移和沿光栅矢量平移产生的光程差 | 第39-40页 |
| 2.3 光栅拼接误差与远场光斑能量关系的理论模型 | 第40-44页 |
| 2.3.1 弗朗禾费远场衍射法建立误差模型 | 第40-42页 |
| 2.3.2 拼接光栅的光瞳函数 | 第42-43页 |
| 2.3.3 二维傅里叶变换法计算复振幅分布 | 第43-44页 |
| 2.4 理想情况下拼接误差对干涉条纹及远场光斑的影响 | 第44-48页 |
| 2.4.1 理想情况下拼接误差对干涉条纹的影响 | 第44-46页 |
| 2.4.2 理想情况下拼接误差对远场光斑的影响 | 第46-48页 |
| 2.5 有波前差情况下拼接误差对干涉条纹及远场光斑的影响 | 第48-53页 |
| 2.5.1 利用泽尼克多项式表示波前分布 | 第48-49页 |
| 2.5.2 有波前差情况下拼接误差对干涉条纹的影响 | 第49-51页 |
| 2.5.3 有波前差情况下拼接误差对远场光斑的影响 | 第51-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第3章 基于干涉法的光栅拼接误差检测系统设计及仿真分析 | 第55-75页 |
| 3.1 引言 | 第55页 |
| 3.2 基于干涉法的拼接误差检测原理 | 第55-61页 |
| 3.2.1 两步法检测拼接误差 | 第55-58页 |
| 3.2.2 沿光栅法线的平移误差 Δ_z的测量 | 第58-61页 |
| 3.3 拼接误差检测系统设计 | 第61-69页 |
| 3.3.1 楔形镜结构检测光路设计 | 第61-64页 |
| 3.3.2 三步法实现光栅严格拼接 | 第64-69页 |
| 3.4 光栅严格拼接的仿真结果与分析 | 第69-73页 |
| 3.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 光栅拼接误差的计算方法及软件实现 | 第75-95页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 拼接误差计算模型 | 第75-86页 |
| 4.2.1 零级拼接误差波前计算拼接误差 Δθ_x、Δθ_y | 第76-78页 |
| 4.2.2 零级拼接误差波前计算拼接误差 Δ_z | 第78-83页 |
| 4.2.3 衍射级拼接误差波前计算拼接误差 Δθ_z、Δ_x | 第83-86页 |
| 4.3 Labview上位机软件编写 | 第86-91页 |
| 4.3.1 零级的 Δθ_x、Δθ_y测量模块 | 第86-88页 |
| 4.3.2 零级的 Δ_z测量模块 | 第88-90页 |
| 4.3.3 衍射级的 Δθ_z、Δ_x测量模块 | 第90-91页 |
| 4.4 初步实验验证 | 第91-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 光栅拼接误差检测系统的实验验证 | 第95-117页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 实验验证 | 第95-106页 |
| 5.2.1 实验方案 | 第95-97页 |
| 5.2.2 拼接误差精度计算 | 第97-99页 |
| 5.2.3 实验器材选择 | 第99-106页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第106-117页 |
| 第6章 总结与展望 | 第117-121页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第117-118页 |
| 6.2 创新点 | 第118-119页 |
| 6.3 展望 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-129页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第129-131页 |
| 指导教师及作者简介 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133页 |
