纳米压痕测试装置的设计分析与试验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| ·课题背景与研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·纳米压痕测试技术的发展概况 | 第13-15页 |
| ·纳米压痕测试仪器发展概况 | 第15-23页 |
| ·纳米测试技术现存问题与发展趋势 | 第23页 |
| ·本文研究主要内容 | 第23-26页 |
| 第2章 纳米压痕测试技术与基本理论 | 第26-42页 |
| ·精密压电驱动 | 第26-29页 |
| ·压电材料 | 第26-27页 |
| ·压电叠堆特性 | 第27-28页 |
| ·压电叠堆输出检测 | 第28-29页 |
| ·精密检测技术 | 第29-32页 |
| ·位移传感器 | 第30-31页 |
| ·力传感器 | 第31-32页 |
| ·柔性铰链 | 第32-35页 |
| ·柔性铰链基本特性 | 第32页 |
| ·柔性铰链类型 | 第32页 |
| ·柔性铰链力学特性 | 第32-35页 |
| ·压痕测试基本理论 | 第35-39页 |
| ·压痕测试所用压头 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 纳米压痕测试装置的设计分析 | 第42-54页 |
| ·结构设计分析 | 第42-47页 |
| ·微位移移动平台 | 第43页 |
| ·宏观运动平台 | 第43-44页 |
| ·精密驱动设计 | 第44-45页 |
| ·压痕测试装置设计 | 第45-46页 |
| ·多载荷测试样机 | 第46-47页 |
| ·各组件与压痕测试装置有限元分析 | 第47-53页 |
| ·各组件静力学分析 | 第47-48页 |
| ·各组件模态分析 | 第48-50页 |
| ·测试装置模态分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 纳米压痕测试装置校准与性能测试 | 第54-74页 |
| ·测试装置的工作原理 | 第54-55页 |
| ·测试系统与测试方案 | 第55-59页 |
| ·测试系统 | 第55-56页 |
| ·测试方案 | 第56-59页 |
| ·测试装置传感器标定 | 第59-62页 |
| ·力传感器标定校准 | 第59-61页 |
| ·位移传感器标定校准 | 第61-62页 |
| ·测试装置性能分析 | 第62-67页 |
| ·外界因素引起的误差分析 | 第62-63页 |
| ·压头磨损误差分析 | 第63-65页 |
| ·接触零点误差 | 第65-66页 |
| ·机架柔性测定分析 | 第66-67页 |
| ·测试装置的修正校准 | 第67-73页 |
| ·位移修正校准 | 第67-69页 |
| ·机架修正校准 | 第69-70页 |
| ·测试装置压痕曲线重复性分析 | 第70-72页 |
| ·熔融石英压痕实验 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第5章 典型材料压痕响应的测试分析 | 第74-82页 |
| ·CRH5钢压痕试验 | 第74-75页 |
| ·单晶铜压痕试验 | 第75-77页 |
| ·7075铝合金预拉力压痕试验 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第6章 总结和展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82页 |
| ·展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 作者简介与攻读硕士期间的主要研究成果 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94页 |
