| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·纳米压印技术概述 | 第9页 |
| ·红外玻璃概述 | 第9-10页 |
| ·课题的目的和意义 | 第10页 |
| ·文献综述 | 第10-15页 |
| ·国外研究现状 | 第10-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·本文主要的研究工作 | 第15页 |
| ·本文的组织结构 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 技术原理 | 第17-28页 |
| ·硫系红外玻璃的热压成型机理及其性能 | 第17-21页 |
| ·非晶态材料 | 第17-18页 |
| ·非晶态固体的流变行为 | 第18-19页 |
| ·硫系红外玻璃的光学性能 | 第19页 |
| ·硫系红外玻璃的热学性能 | 第19-20页 |
| ·硫系红外玻璃的制备方法 | 第20-21页 |
| ·纳米压印技术 | 第21-26页 |
| ·模具 | 第22-23页 |
| ·光刻胶 | 第23页 |
| ·衬底厚度及工艺参数 | 第23-24页 |
| ·热压印成型机理 | 第24-26页 |
| ·技术条件和实验条件 | 第26页 |
| ·主要技术条件 | 第26页 |
| ·主要实验条件 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 3 折/衍红外光学系统 | 第28-42页 |
| ·折/衍红外光学系统设计理论 | 第28-30页 |
| ·消色差 | 第28页 |
| ·消热差 | 第28-30页 |
| ·折/衍红外光学系统的设计及像质评价 | 第30-34页 |
| ·折/衍红外光学系统设计指标及过程 | 第30-31页 |
| ·设计结果及系统像质评价 | 第31-34页 |
| ·衍射面镜片金刚石加工仿真 | 第34-36页 |
| ·金刚石车削加工衍射光学元件的应用 | 第34-35页 |
| ·衍射面的加工仿真 | 第35-36页 |
| ·衍射面的加工与检测 | 第36页 |
| ·衍射面环带半径和环带深度加工误差对折/衍系统的影响 | 第36-41页 |
| ·加工环带位置出现的偏差 | 第37-39页 |
| ·环带加工深度对光学系统的影响 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 模具制备工艺的研究 | 第42-52页 |
| ·二氧化硅的氢氟酸缓冲腐蚀研究 | 第42-45页 |
| ·实验 | 第42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-45页 |
| ·结论 | 第45页 |
| ·模具制备的方法 | 第45-47页 |
| ·电子束光刻 | 第46页 |
| ·离子束光刻 | 第46页 |
| ·极紫外光刻 | 第46-47页 |
| ·X射线光刻 | 第47页 |
| ·激光全息光刻 | 第47页 |
| ·模具制备工艺 | 第47-49页 |
| ·实验设备及材料 | 第47-48页 |
| ·工艺过程 | 第48-49页 |
| ·模具的检测及分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 纳米压印理论 | 第52-58页 |
| ·压印胶的流变行为 | 第52-54页 |
| ·纳米压印填充时间的理论计算 | 第54-55页 |
| ·有效压强的理论分析及提高模具寿命的方法 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 6 结论 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |