中文摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-9页 |
第一章 综述 | 第9-40页 |
·锡基材料研究现状 | 第9-29页 |
·锡基合金 | 第9-21页 |
·锡基焊料合金简介 | 第10-13页 |
·锡基合金互连结构的电迁移 | 第13-21页 |
·锡基金属间化合物 | 第21-24页 |
·锡基氧化物 | 第24-29页 |
·SnO_2 的磁性研究 | 第25-27页 |
·SnO_2 的光电性能研究 | 第27-29页 |
·基于密度泛函理论的第一性原理计算方法 | 第29-38页 |
·绝热近似 | 第30页 |
·Hohenberg-Kohn 定理 | 第30-31页 |
·Kohn-Sham 方程 | 第31-32页 |
·交换关联能泛函 | 第32-34页 |
·局域密度近似(LDA) | 第33页 |
·广义梯度近似(GGA) | 第33-34页 |
·轨道泛函与非局域泛函 | 第34页 |
·Kohn-Sham 方程的自洽求解 | 第34-35页 |
·平面波方法 | 第35-36页 |
·赝势方法 | 第36-37页 |
·密度泛函理论的其他发展 | 第37-38页 |
·DFT+U 方法 | 第37页 |
·密度泛函微扰理论 | 第37-38页 |
·本论文的工作 | 第38-40页 |
第二章 理论计算和实验方法 | 第40-50页 |
·计算方法 | 第40-41页 |
·第一性原理软件 | 第40-41页 |
·CASTEP 软件包 | 第40页 |
·Abinit 软件包 | 第40页 |
·QUANTUM ESPRESSO 软件包 | 第40-41页 |
·有限元方法 | 第41页 |
·实验方法 | 第41-47页 |
·电迁移实验用锡基焊球的制备 | 第41-43页 |
·电迁移焊球互连样品的制备 | 第43-44页 |
·电迁移薄膜样品的制备 | 第44-45页 |
·磁控溅射原理 | 第44页 |
·薄膜的制备过程 | 第44-45页 |
·电迁移实验 | 第45页 |
·热老化实验 | 第45-46页 |
·锡基氧化物粉末样品的制备 | 第46-47页 |
·溶胶-凝胶法 | 第46页 |
·K 掺杂SnO_2 粉末的制备 | 第46-47页 |
·测试方法 | 第47-50页 |
·样品形貌测量 | 第47页 |
·样品结构的表征 | 第47-49页 |
·样品成分和价态的表征 | 第49页 |
·样品磁性测量 | 第49-50页 |
第三章 锡基合金的电迁移行为研究 | 第50-78页 |
·界面金属间化合物形貌对 Cu/Sn-3.5Ag-0.5Cu/Cu 互连结构电迁移行为的影响 | 第50-59页 |
·Cu/Sn-8Zn-3Bi/Cu 互连结构的电迁移行为研究 | 第59-66页 |
·SnBi 合金薄膜电迁移行为研究 | 第66-77页 |
·本章小结 | 第77-78页 |
第四章 锡基金属间化合物的力学和热力学性质研究 | 第78-110页 |
·Cu-Sn 金属间化合物的力学和热力学性质 | 第78-91页 |
·基态结构和力学性质 | 第78-87页 |
·热力学性质 | 第87-91页 |
·Pt-Sn 金属间化合物的力学和热力学性质 | 第91-108页 |
·Pt-Sn 金属间化合物的基态性质 | 第92-103页 |
·Pt-Sn 金属间化合物的热力学性质 | 第103-108页 |
·本章小结 | 第108-110页 |
第五章 锡基氧化物的磁性和光学性质研究 | 第110-134页 |
·K 掺SnO_2 的磁性研究 | 第110-122页 |
·K 掺SnO_2 的磁性机制的第一性原理研究 | 第110-116页 |
·K 掺SnO_2 的铁磁性的实验研究 | 第116-122页 |
·W 掺杂SnO_2 的光学性质研究 | 第122-132页 |
·W 掺杂SnO_2 的电子结构 | 第122-130页 |
·W 掺杂SnO_2 的光学性质 | 第130-132页 |
·本章小结 | 第132-134页 |
第六章 结论 | 第134-136页 |
参考文献 | 第136-144页 |
攻读学位期间完成的研究成果以及参与的科研项目 | 第144-147页 |
致谢 | 第147页 |