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锡基材料的理论计算与实验研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-9页
第一章 综述第9-40页
   ·锡基材料研究现状第9-29页
     ·锡基合金第9-21页
       ·锡基焊料合金简介第10-13页
       ·锡基合金互连结构的电迁移第13-21页
     ·锡基金属间化合物第21-24页
     ·锡基氧化物第24-29页
       ·SnO_2 的磁性研究第25-27页
       ·SnO_2 的光电性能研究第27-29页
   ·基于密度泛函理论的第一性原理计算方法第29-38页
     ·绝热近似第30页
     ·Hohenberg-Kohn 定理第30-31页
     ·Kohn-Sham 方程第31-32页
     ·交换关联能泛函第32-34页
       ·局域密度近似(LDA)第33页
       ·广义梯度近似(GGA)第33-34页
       ·轨道泛函与非局域泛函第34页
     ·Kohn-Sham 方程的自洽求解第34-35页
     ·平面波方法第35-36页
     ·赝势方法第36-37页
     ·密度泛函理论的其他发展第37-38页
       ·DFT+U 方法第37页
       ·密度泛函微扰理论第37-38页
   ·本论文的工作第38-40页
第二章 理论计算和实验方法第40-50页
   ·计算方法第40-41页
     ·第一性原理软件第40-41页
       ·CASTEP 软件包第40页
       ·Abinit 软件包第40页
       ·QUANTUM ESPRESSO 软件包第40-41页
     ·有限元方法第41页
   ·实验方法第41-47页
     ·电迁移实验用锡基焊球的制备第41-43页
     ·电迁移焊球互连样品的制备第43-44页
     ·电迁移薄膜样品的制备第44-45页
       ·磁控溅射原理第44页
       ·薄膜的制备过程第44-45页
     ·电迁移实验第45页
     ·热老化实验第45-46页
     ·锡基氧化物粉末样品的制备第46-47页
       ·溶胶-凝胶法第46页
       ·K 掺杂SnO_2 粉末的制备第46-47页
   ·测试方法第47-50页
     ·样品形貌测量第47页
     ·样品结构的表征第47-49页
     ·样品成分和价态的表征第49页
     ·样品磁性测量第49-50页
第三章 锡基合金的电迁移行为研究第50-78页
   ·界面金属间化合物形貌对 Cu/Sn-3.5Ag-0.5Cu/Cu 互连结构电迁移行为的影响第50-59页
   ·Cu/Sn-8Zn-3Bi/Cu 互连结构的电迁移行为研究第59-66页
   ·SnBi 合金薄膜电迁移行为研究第66-77页
   ·本章小结第77-78页
第四章 锡基金属间化合物的力学和热力学性质研究第78-110页
   ·Cu-Sn 金属间化合物的力学和热力学性质第78-91页
     ·基态结构和力学性质第78-87页
     ·热力学性质第87-91页
   ·Pt-Sn 金属间化合物的力学和热力学性质第91-108页
     ·Pt-Sn 金属间化合物的基态性质第92-103页
     ·Pt-Sn 金属间化合物的热力学性质第103-108页
   ·本章小结第108-110页
第五章 锡基氧化物的磁性和光学性质研究第110-134页
   ·K 掺SnO_2 的磁性研究第110-122页
     ·K 掺SnO_2 的磁性机制的第一性原理研究第110-116页
     ·K 掺SnO_2 的铁磁性的实验研究第116-122页
   ·W 掺杂SnO_2 的光学性质研究第122-132页
     ·W 掺杂SnO_2 的电子结构第122-130页
     ·W 掺杂SnO_2 的光学性质第130-132页
   ·本章小结第132-134页
第六章 结论第134-136页
参考文献第136-144页
攻读学位期间完成的研究成果以及参与的科研项目第144-147页
致谢第147页

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