| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 聚合物材料 | 第9页 |
| 1.2.2 铌酸锂材料 | 第9-10页 |
| 1.2.3 InP材料 | 第10页 |
| 1.2.4 硅基材料 | 第10-11页 |
| 1.2.5 氮化硅材料 | 第11-13页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第13页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第13-15页 |
| 第二章 微环耦合马赫-曾德干涉器可重构滤波器理论 | 第15-27页 |
| 2.1 微环谐振腔滤波器理论分析 | 第15-21页 |
| 2.1.1 微环谐振器的滤波原理 | 第15页 |
| 2.1.2 微环谐振器传输特性 | 第15-18页 |
| 2.1.3 滤波器的重要参数 | 第18-21页 |
| 2.2 马赫-曾德干涉器理论分析 | 第21-23页 |
| 2.3 基于微环耦合马赫-曾德干涉器的可重构滤波器单元 | 第23-25页 |
| 2.4 集成可重构滤波器阵列设计 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 氮化硅波导可重构滤波器阵列的设计与制备 | 第27-45页 |
| 3.1 氮化硅可重构滤波器的设计 | 第27-34页 |
| 3.1.1 光波导的结构和尺寸 | 第28-31页 |
| 3.1.2 微环的半径 | 第31页 |
| 3.1.3 耦合区长度以及耦合区间隔 | 第31-33页 |
| 3.1.4 可重构滤波器的MZI调制臂和微环上的电极长度 | 第33-34页 |
| 3.2 氮化硅光波导热光调谐的热场分析 | 第34-37页 |
| 3.3 基于氮化硅可重构滤波器阵列的任意波形发生系统设计 | 第37-38页 |
| 3.4 氮化硅可重构滤波器阵列的制备 | 第38-43页 |
| 3.4.1 掩模板的设计 | 第38-39页 |
| 3.4.2 器件的制备 | 第39-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 氮化硅波导可重构滤波器阵列的测试 | 第45-51页 |
| 4.1 测试系统 | 第45-46页 |
| 4.1.1 测试原理 | 第45页 |
| 4.1.2 测试平台及测试流程 | 第45-46页 |
| 4.2 测试结果与分析 | 第46-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 氮化硅波导偏振转换及分离器设计 | 第51-55页 |
| 5.1 氮化硅波导偏振转换及分离器结构与原理 | 第51页 |
| 5.2 氮化硅波导偏振转换及分离器的参数优化 | 第51-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
