新型激光膜厚监控方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·膜厚监控系统的研究现状 | 第10-11页 |
| ·国外研究现状 | 第10页 |
| ·国内研究现状 | 第10-11页 |
| ·研究的目的与意义 | 第11-12页 |
| ·研究工作的主要内容 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 光学薄膜技术概述 | 第14-28页 |
| ·光学薄膜设计技术概述 | 第14-16页 |
| ·光学薄膜制备技术概述 | 第16-19页 |
| ·物理气相沉积 | 第16-19页 |
| ·化学气相沉积 | 第19页 |
| ·光学薄膜监控方法概述 | 第19-27页 |
| ·膜厚监控的主要方法 | 第20-26页 |
| ·任意厚度光学薄膜监控方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 新型激光膜厚监控方法 | 第28-41页 |
| ·新型激光膜厚监控方法的原理 | 第28-31页 |
| ·监控片结构和预镀方法的设计 | 第31-32页 |
| ·算法设计 | 第32-36页 |
| ·算法设计思路图 | 第32-33页 |
| ·算法设计 | 第33-36页 |
| ·任意膜厚的监控 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 膜厚仪的光学系统设计 | 第41-49页 |
| ·膜厚监控系统的组成 | 第41-42页 |
| ·光源系统和调制器的设计 | 第42-44页 |
| ·光源系统 | 第42-43页 |
| ·调制器的设计 | 第43-44页 |
| ·光学系统结构设计 | 第44-48页 |
| ·参考光路的结构设计 | 第45页 |
| ·主光路分光系统结构设计 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 光电探测与噪声处理系统的设计 | 第49-59页 |
| ·光电探测器与应用电路 | 第50-52页 |
| ·光电探测器的选型和结构布局 | 第50-52页 |
| ·典型应用电路 | 第52页 |
| ·噪声处理系统设计 | 第52-58页 |
| ·锁相放大器工作原理 | 第52-54页 |
| ·锁相放大器处理膜厚监控信号的仿真 | 第54-56页 |
| ·平滑滤波 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 膜厚监控信号采集与膜厚监控仿真 | 第59-65页 |
| ·数据采集系统 | 第59-61页 |
| ·数据采集系统组成 | 第59-60页 |
| ·数据采集系统的主要性能指标 | 第60-61页 |
| ·数据采集卡的选型 | 第61-62页 |
| ·任意厚度光学薄膜的实时监控仿真 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 7 结论 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第65页 |
| ·本文的主要创新点 | 第65-66页 |
| ·有待继续研究和待解决的问题 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-74页 |
| 附录1 | 第74-77页 |
