| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·选题的背景及研究的意义 | 第8-15页 |
| ·基于有限元方法的有限元软件 ansys 及其功能 | 第8-9页 |
| ·微型器件的广泛应用 | 第9-11页 |
| ·压电微悬臂梁 | 第11-14页 |
| ·研究意义 | 第14-15页 |
| ·国内外的研究动态及发展趋势 | 第15-17页 |
| ·压电微悬臂的科研贡献 | 第15页 |
| ·压电微悬臂梁的研究内容 | 第15-16页 |
| ·有限元软件对压电微悬臂梁的研究 | 第16-17页 |
| ·论文的主要工作及章节安排 | 第17-21页 |
| ·主要工作 | 第17-18页 |
| ·章节安排 | 第18-21页 |
| 2 利用有限元方法模拟压电微悬臂梁振动 | 第21-35页 |
| ·振动的基本方程 | 第21-23页 |
| ·有限元方法的基本思想 | 第21页 |
| ·分析步骤 | 第21-23页 |
| ·主振型 | 第23页 |
| ·ansys12.0 对压电微悬臂梁的模态分析 | 第23-33页 |
| ·定义单元类型和材料属性 | 第24-26页 |
| ·建模与划分网格 | 第26-29页 |
| ·施加约束 | 第29-31页 |
| ·模态分析求解 | 第31-33页 |
| ·ansys 模态分析结果的验证 | 第33-35页 |
| 3 电极层对 PZT 压电微悬臂梁动态性能的影响 | 第35-39页 |
| ·问题研究背景 | 第35页 |
| ·研究方案 | 第35-36页 |
| ·执行过程 | 第36-37页 |
| ·编写模态分析的参数化设计语言 APDL | 第36-37页 |
| ·改变单晶硅厚度并运行程序 | 第37页 |
| ·分析结果 | 第37-39页 |
| 4 PZT 压电微悬臂梁的压电分析 | 第39-50页 |
| ·压电分析的理论背景 | 第39-41页 |
| ·ansys12.0 对微压电悬臂梁的压电分析 | 第41-46页 |
| ·定义单元类型 | 第41页 |
| ·定义材料属性 | 第41-45页 |
| ·施加外力载荷 | 第45-46页 |
| ·观察结果 | 第46页 |
| ·压电微悬臂梁的线性分析 | 第46-47页 |
| ·压电微悬臂梁的传感灵敏度分析 | 第47-50页 |
| 5 总结与展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 附录 | 第55页 |