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基于有限元方法的压电微悬臂梁的模态分析和压电分析

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
1 绪论第8-21页
   ·选题的背景及研究的意义第8-15页
     ·基于有限元方法的有限元软件 ansys 及其功能第8-9页
     ·微型器件的广泛应用第9-11页
     ·压电微悬臂梁第11-14页
     ·研究意义第14-15页
   ·国内外的研究动态及发展趋势第15-17页
     ·压电微悬臂的科研贡献第15页
     ·压电微悬臂梁的研究内容第15-16页
     ·有限元软件对压电微悬臂梁的研究第16-17页
   ·论文的主要工作及章节安排第17-21页
     ·主要工作第17-18页
     ·章节安排第18-21页
2 利用有限元方法模拟压电微悬臂梁振动第21-35页
   ·振动的基本方程第21-23页
     ·有限元方法的基本思想第21页
     ·分析步骤第21-23页
     ·主振型第23页
   ·ansys12.0 对压电微悬臂梁的模态分析第23-33页
     ·定义单元类型和材料属性第24-26页
     ·建模与划分网格第26-29页
     ·施加约束第29-31页
     ·模态分析求解第31-33页
   ·ansys 模态分析结果的验证第33-35页
3 电极层对 PZT 压电微悬臂梁动态性能的影响第35-39页
   ·问题研究背景第35页
   ·研究方案第35-36页
   ·执行过程第36-37页
     ·编写模态分析的参数化设计语言 APDL第36-37页
     ·改变单晶硅厚度并运行程序第37页
   ·分析结果第37-39页
4 PZT 压电微悬臂梁的压电分析第39-50页
   ·压电分析的理论背景第39-41页
   ·ansys12.0 对微压电悬臂梁的压电分析第41-46页
     ·定义单元类型第41页
     ·定义材料属性第41-45页
     ·施加外力载荷第45-46页
     ·观察结果第46页
   ·压电微悬臂梁的线性分析第46-47页
   ·压电微悬臂梁的传感灵敏度分析第47-50页
5 总结与展望第50-51页
致谢第51-52页
参考文献第52-55页
附录第55页

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