| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·直接驱动 XY 平台的研究目的和意义 | 第11-12页 |
| ·直接驱动技术及 XY 平台的发展现状 | 第12-15页 |
| ·直驱技术的发展 | 第12-14页 |
| ·直接驱动 XY 平台的研究现状 | 第14-15页 |
| ·XY 平台控制中常见的问题及采用的控制策略 | 第15-17页 |
| ·直接驱动 XY 平台运动控制中常见的问题 | 第15-16页 |
| ·常见的 XY 平台控制策略 | 第16-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 直线电机的数学模型及 XY 平台位置误差分析 | 第19-26页 |
| ·直线电机的结构、分类和工作原理 | 第19-21页 |
| ·直线电机的结构 | 第19-20页 |
| ·直线电机分类 | 第20页 |
| ·直线电机的工作原理 | 第20-21页 |
| ·直线电机的数学模型 | 第21-23页 |
| ·XY 平台轮廓误差分析 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 零相位鲁棒控制系统设计 | 第26-36页 |
| ·ZPETC 的设计 | 第26-29页 |
| ·ZPETC 的基本原理 | 第26-28页 |
| ·XY 平台中 ZPETC 的设计 | 第28-29页 |
| ·DOB 的设计 | 第29-32页 |
| ·CCC 的设计 | 第32-34页 |
| ·零相位鲁棒控制系统设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 预测鲁棒控制系统设计 | 第36-44页 |
| ·预测控制基本原理 | 第36-39页 |
| ·预测模型 | 第37-38页 |
| ·滚动优化 | 第38-39页 |
| ·反馈校正 | 第39页 |
| ·预测控制的应用 | 第39-41页 |
| ·DOB 和 CCC 的设计 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 XY 平台系统仿真分析 | 第44-65页 |
| ·单轴直线电机鲁棒跟踪特性仿真分析 | 第44-57页 |
| ·基于 PID 的直线电机仿真分析 | 第44-46页 |
| ·单轴零相位鲁棒控制系统的仿真分析 | 第46-52页 |
| ·单轴预测鲁棒控制系统的仿真分析 | 第52-57页 |
| ·双轴 XY 平台鲁棒跟踪特性仿真分析 | 第57-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 在学研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |