AFM压电驱动器建模与控制研究
| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·研究背景 | 第15-16页 |
| ·研究现状 | 第16-18页 |
| ·论文结构 | 第18-20页 |
| 第二章 原子力显微镜与压电陶瓷驱动器 | 第20-32页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第20-22页 |
| ·原子力显微镜的硬件架构 | 第22-23页 |
| ·力检测部分 | 第22页 |
| ·位置检测部分 | 第22页 |
| ·反馈系统 | 第22-23页 |
| ·原子力显微镜的操作模式 | 第23-25页 |
| ·接触模式 | 第24-25页 |
| ·非接触模式 | 第25页 |
| ·轻敲模式 | 第25页 |
| ·压电陶瓷驱动器性能分析 | 第25-30页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第26-27页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性分析 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 改进的PI迟滞非线性建模 | 第32-48页 |
| ·迟滞特性介绍 | 第32-33页 |
| ·PI模型和迟滞非线性特性补偿 | 第33-38页 |
| ·PI迟滞非线性建模 | 第34-35页 |
| ·PI迟滞模型逆模型求解 | 第35-37页 |
| ·PI建模法的特点和局限性 | 第37-38页 |
| ·无记忆非线性特性补偿 | 第38-42页 |
| ·无记忆非线性特性建模 | 第39-40页 |
| ·无记忆非线性特性的逆模型求解 | 第40-42页 |
| ·改进的PI模型与补偿器设计 | 第42-43页 |
| ·建模与补偿器设计 | 第42页 |
| ·模型辨识 | 第42-43页 |
| ·建模仿真研究 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 振动特性补偿 | 第48-62页 |
| ·振动特性介绍 | 第48-49页 |
| ·控制器设计思想 | 第49-50页 |
| ·动态模型辨识 | 第50-53页 |
| ·抑制谐振模态点的控制器设计 | 第53-60页 |
| ·基于多项式的控制器设计 | 第53-55页 |
| ·正位置反馈控制器 | 第55-57页 |
| ·谐振控制器 | 第57-60页 |
| ·实验结果分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 高速微定位系统控制 | 第62-70页 |
| ·理论基础 | 第62-63页 |
| ·仿真实验结果 | 第63-66页 |
| ·传感器噪声影响 | 第66-67页 |
| ·实验设备介绍 | 第67-68页 |
| ·微位移平台 | 第67-68页 |
| ·压电陶瓷控制器 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 硕士研究生期间发表(录用)论文与参与项目 | 第80-81页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第81页 |
