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稀磁半导体薄膜低温输运性质研究

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
第一章 引言第5-7页
 §1.1 稀磁半导体研究意义与进展第5-6页
 §1.2 本文主要工作第6-7页
第二章 薄膜生长技术与表征方法第7-13页
 §2.1 分子束外延技术第7-9页
 §2.2 半导体衬底清洗第9-10页
 §2.3 表面分析技术第10-13页
  §2.3.1 反射式高能电子衍射第10-11页
  §2.3.2 俄歇电子能谱第11-13页
第三章 稀磁半导体输运理论第13-20页
 §3.1 反常霍尔效应第13-15页
 §3.2 多种载流子输运性质第15-18页
 §3.3 跳跃导电机制第18-20页
第四章 稀磁半导体薄膜制备和测量第20-24页
 §4.1 Fe_xSi_(1-x)薄膜生长第20-21页
 §4.2 薄膜电学性质测量第21-24页
  §4.2.1 薄膜图案制备第21-22页
  §4.2.2 薄膜电阻测量第22-24页
第五章 Fe_(0.04)Si_(0.96)薄膜输运性质研究第24-33页
 §5.1 30K以上输运性质第24-26页
 §5.2 30K以下输运性质第26-31页
 §5.3 结论第31-33页
参考文献第33-35页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第35-36页
致谢第36-37页

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