| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究高速高加速度运动伺服系统的背景 | 第12-14页 |
| ·在芯片制造业上的研究背景 | 第12-13页 |
| ·在数控装备业上的应用背景 | 第13-14页 |
| ·高速高加速度运动伺服系统的机构形式 | 第14-16页 |
| ·传统直线传动伺服机构 | 第14页 |
| ·直线电机直接驱动系统 | 第14-16页 |
| ·其他机构类型 | 第16页 |
| ·高速高加速度运动伺服系统的国内、外研究及应用现状 | 第16-17页 |
| ·高速高加速度伺服系统控制的研究 | 第17-18页 |
| ·课题的研究意义及内容 | 第18-20页 |
| ·研究意义 | 第18页 |
| ·内容及安排 | 第18-20页 |
| 第二章 直线电机直接驱动伺服系统的控制结构及建模 | 第20-30页 |
| ·直线永磁同步电机的结构 | 第20-21页 |
| ·直线永磁同步电机的工作原理 | 第21页 |
| ·直线电机直接驱动伺服系统的控制 | 第21-25页 |
| ·伺服系统的控制结构 | 第21-23页 |
| ·伺服系统的传统位置控制 | 第23-25页 |
| ·直线电机直接驱动伺服系统的数学建模 | 第25-29页 |
| ·执行部件数学模型的建立 | 第25-28页 |
| ·直线电机直接驱动伺服系统模型的建立及简化 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 伺服系统控制策略的比较与选择 | 第30-40页 |
| ·采用新的控制策略的目的 | 第30页 |
| ·控制理论的历史与发展 | 第30-36页 |
| ·传统控制理论 | 第31页 |
| ·现代控制策略 | 第31-33页 |
| ·智能控制策略 | 第33-36页 |
| ·直线电机直接驱动伺服系统的控制策略选择 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 伺服系统的模糊控制器设计 | 第40-51页 |
| ·模糊控制系统的组成及原理 | 第40-42页 |
| ·模糊控制器的基本组成 | 第40-41页 |
| ·模糊控制的基本工作原理 | 第41-42页 |
| ·模糊控制器的设计过程 | 第42-48页 |
| ·模糊控制器的结构设计 | 第43-44页 |
| ·模糊控制器的参数确定 | 第44-45页 |
| ·确定精确量的模糊化方法和模糊量的解模糊化方法 | 第45-46页 |
| ·确定模糊控制器的控制规则及其模糊推理方法 | 第46-47页 |
| ·量化因子和比例因子的选择 | 第47-48页 |
| ·伺服系统的模糊控制器设计 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 基于遗传算法的自寻优模糊控制器设计 | 第51-60页 |
| ·遗传算法概述 | 第51-53页 |
| ·遗传算法的生物学基础 | 第51页 |
| ·遗传算法的发展、应用及特点 | 第51-53页 |
| ·遗传算法的原理及操作步骤 | 第53-55页 |
| ·遗传算法的实现方法 | 第55-57页 |
| ·利用遗传算法优化的模糊控制器 | 第57-59页 |
| ·基于遗传算法优化的模糊控制器的结构 | 第57页 |
| ·遗传算法在模糊控制器的优化中的实现 | 第57-59页 |
| ·遗传算法的程序流程 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 仿真实验研究 | 第60-65页 |
| ·系统的仿真环境 | 第60-61页 |
| ·系统的仿真流程 | 第61页 |
| ·系统仿真的模型 | 第61-62页 |
| ·仿真实验结果与分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文总结 | 第65-66页 |
| ·研究展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第70页 |