LIGA技术制作高性能微电子机械模具及其脱模性能的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-37页 |
| ·微电子机械系统(MEMS) | 第13-18页 |
| ·MEMS简介 | 第13-15页 |
| ·聚合物基MEMS的应用和发展 | 第15-16页 |
| ·聚合物基MEMS的加工方法 | 第16-18页 |
| ·LIGA技术制作MEMS模具 | 第18-23页 |
| ·现有的MEMS模具制作技术 | 第18-20页 |
| ·LIGA的模具制作技术 | 第20-21页 |
| ·LIGA模具制作技术的优势 | 第21-22页 |
| ·LIGA技术不足及研究进展 | 第22-23页 |
| ·热模压成型技术 | 第23-31页 |
| ·现有的塑铸技术 | 第23-25页 |
| ·热模压成型技术 | 第25-27页 |
| ·热模压成型技术的应用和发展 | 第27-28页 |
| ·热模压成型脱模过程的研究现状 | 第28-31页 |
| ·本文完成的主要工作 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-37页 |
| 第二章 脱模过程的脱模力分析及模具的设计 | 第37-64页 |
| ·脱模过程的摩擦问题 | 第37-42页 |
| ·微摩擦理论基础 | 第38-39页 |
| ·脱模力的组成 | 第39-42页 |
| ·表面粘着力的分析 | 第42-49页 |
| ·表面弹性接触的基本理论 | 第42-44页 |
| ·表面粘着力的估算公式 | 第44-46页 |
| ·表面粘着力对脱模过程的影响 | 第46-49页 |
| ·脱模过程的热收缩力分析 | 第49-56页 |
| ·热收缩应力分析 | 第49-51页 |
| ·热收缩应力的有限元计算 | 第51-53页 |
| ·热应力阻隔器的设计 | 第53-56页 |
| ·模具的设计 | 第56-61页 |
| ·T型微结构的脱模过程分析算例 | 第56-57页 |
| ·高性能MEMS模具的设计及制作方案 | 第57-61页 |
| 本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第三章 同步辐射X射线深度光刻技术 | 第64-95页 |
| ·掩模的制作工艺 | 第65-70页 |
| ·掩模的基本制作原理 | 第65-68页 |
| ·掩模的制作工艺 | 第68-70页 |
| ·X射线深度光刻工艺 | 第70-79页 |
| ·样品的制备工艺 | 第70-74页 |
| ·曝光工艺 | 第74-78页 |
| ·显影工艺 | 第78-79页 |
| ·光刻工艺研究 | 第79-92页 |
| ·X射线深度光刻显影速率的研究 | 第79-83页 |
| ·X射线深度光刻的图形粘附性研究 | 第83-86页 |
| ·紫外光刻(UV-LIGA)技术 | 第86-92页 |
| 本章小结 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-95页 |
| 第四章 精密微电铸技术 | 第95-128页 |
| ·金属镍(Ni)模具的制作 | 第95-112页 |
| ·电铸技术基本原理 | 第95-99页 |
| ·高深宽比精密微电铸特性 | 第99-102页 |
| ·NSRL的微电铸工艺 | 第102-104页 |
| ·金属镍模具的微电铸工艺研究 | 第104-112页 |
| ·Ni-PTFE复合模具的制作 | 第112-118页 |
| ·Ni-PTFE复合微电铸原理 | 第112-114页 |
| ·Ni-PTFE复合微电铸工艺 | 第114-115页 |
| ·Ni-PTFE模具的复合微电铸工艺研究 | 第115-118页 |
| ·Ni与Ni-PTFE模具的制作结果 | 第118-126页 |
| ·形貌学及成分分析 | 第118-123页 |
| ·侧壁粗糙度测量 | 第123-125页 |
| ·摩擦系数的测量 | 第125-126页 |
| 本章小结 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-128页 |
| 第五章 模具脱模性能研究 | 第128-149页 |
| ·真空热模压成型技术 | 第128-133页 |
| ·实验设备 | 第128-131页 |
| ·真空热模压成型工艺 | 第131-133页 |
| ·脱模工艺研究 | 第133-142页 |
| ·热塑性聚合物材料 | 第134-136页 |
| ·PMMA的力学状态及力学性能 | 第136-139页 |
| ·脱模工艺的优化 | 第139-142页 |
| ·Ni与Ni-PTFE模具的脱模性能 | 第142-147页 |
| ·高宽比微结构的脱模研究 | 第142-145页 |
| ·模具连续模压寿命的研究 | 第145-147页 |
| 本章小结 | 第147-148页 |
| 参考文献 | 第148-149页 |
| 第六章 论文总结 | 第149-151页 |
| 致谢 | 第151-152页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第152页 |
