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磁控溅射非晶态TiO2-Ag(Mo)薄膜的光催化性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
1 绪论第8-23页
   ·国内外研究历程及现状第8-12页
   ·纳米 TiO_2 相关基础理论第12-15页
   ·常用的薄膜制备工艺第15-18页
     ·溅射沉积第15-16页
     ·化学气相沉积第16-17页
     ·液相沉积法第17页
     ·溶胶-凝胶法第17-18页
   ·TiO_2 光催化薄膜的应用第18-21页
     ·在环境卫生方面的应用第18-20页
     ·在建材方面的应用第20-21页
   ·目前存在的问题第21-23页
2 溅射镀膜原理第23-27页
   ·溅射机理及特点第23-24页
   ·基本溅射类型第24-27页
     ·直流溅射第24-25页
     ·射频溅射第25页
     ·反应溅射第25-26页
     ·磁控溅射第26-27页
3 实验第27-30页
   ·实验设备及材料第27页
   ·薄膜的制备第27-28页
   ·薄膜的性能测试第28-30页
4 TiO_2-AG 薄膜的光催化性能和结构研究第30-45页
   ·工艺参数对 TiO_2-Ag 薄膜光催化性能的影响第30-35页
   ·薄膜厚度对指示剂光催化性能的影响第35-36页
   ·光照时间对指示剂光催化效率的影响第36-38页
   ·TiO_2-Ag 薄膜的结构分析第38-42页
   ·TiO_2-Ag 薄膜的光催化效果分析第42-43页
   ·本章小节第43-45页
5 TiO_2-MO 薄膜的制备及分析第45-54页
   ·工艺参数对 TiO_2-Mo 薄膜的光催化性能分析第45-50页
   ·TiO_2-MO 薄膜的XRD 分析第50页
   ·TiO_2-Mo 薄膜的透过率分析第50-52页
   ·TiO_2-Mo 薄膜的光催化效果分析第52-53页
   ·本章小结第53-54页
6 结论第54-55页
7 后续工作第55-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-62页
附录第62页

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