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反应性射频溅射制备电致变色NiO_x薄膜的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-29页
   ·概述第8-9页
   ·电致变色材料的分类第9-15页
     ·无机电致变色材料第9-13页
     ·有机电致变色材料第13-14页
     ·其它一些电致变色材料第14-15页
   ·电致变色膜的变色机理第15-18页
     ·色心模型第16页
     ·双注入模型(即Faughnan模型)第16-17页
     ·配位场模型第17页
     ·小极化子吸收模型(即Schirmer模型)第17-18页
     ·自由载流子模型第18页
   ·电致变色材料的应用第18-20页
     ·电致变色显示器(ECD)第18-19页
     ·电致变色灵巧窗(smart window)第19页
     ·无眩反光镜(glare-free mirror)第19-20页
     ·电色存储器件第20页
   ·基于电致变色材料的电色器件的组成结构第20-24页
     ·结构设计第20-22页
     ·器件的各层材料第22-24页
     ·器件的性能评价第24页
   ·研究现状及展望第24-29页
第二章 反应性射频溅射制备电致变色氧化镍薄膜第29-42页
   ·概述第29-31页
     ·溶胶-凝胶法第29页
     ·电化学沉积法第29页
     ·物理气相沉积法第29-30页
     ·化学气相沉积法第30-31页
     ·脉冲激光法第31页
   ·反应性射频溅射法的溅射机理第31-42页
     ·反应性射频溅射法原理第31-36页
     ·溅射成膜的特性第36-39页
     ·溅射的特点和应用第39-42页
第三章 电致变色氧化镍的性质及表征第42-62页
   ·氧化镍薄膜的物理性质第42-52页
     ·块体氧化镍材料的性质第42-44页
     ·薄膜特性第44-48页
     ·氧化镍薄膜的光学性质第48-52页
   ·氧化镍电致变色膜的性能表征手段第52-62页
     ·结构分析-X射线衍射技术第52-53页
     ·表面化学成份分析-XPS测试第53-54页
     ·表面形貌分析-扫描电子显微镜(SEM)第54-55页
     ·四探针测试电阻率第55页
     ·电化学特性测试-循环伏安法(CV)第55-62页
第四章 溅射制备电致变色氧化镍膜及膜的表征第62-76页
   ·NiOx薄膜的制备第62-63页
     ·反应性射频溅射的实验设备第62页
     ·实验所用的材料第62-63页
   ·样品的表征及结果讨论第63-76页
     ·溅射氧分压与溅射压强对NiOx膜的影响第63-66页
     ·热处理温度对NiOx膜的影响第66-72页
     ·变色过程对NiOx膜的影响第72-76页
第五章 结论第76-78页
 一.溅射氧分压与溅射压强对NiOx膜质量的影响第76页
 二.薄膜的热处理对NiOx膜质量的影响第76-77页
 三.电化学过程对NiOx膜质量的影响第77页
 四.NiOx膜的变色机理的理解第77-78页
致谢第78页

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