钒掺杂及钒氮共掺ZnO薄膜特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-11页 |
| 第二章 文献综述和课题设计 | 第11-19页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第11-12页 |
| ·ZnO的缺陷和P型掺杂 | 第12-16页 |
| ·ZnO的缺陷 | 第13-15页 |
| ·ZnO的P型掺杂 | 第15-16页 |
| ·ZnO薄膜的性能及其应用 | 第16-18页 |
| ·ZnO薄膜的光电特性及其应用 | 第16页 |
| ·ZnO薄膜的压电、热电特性及其应用 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的铁电、铁磁特性及其应用 | 第17-18页 |
| ·本论文研究目的和内容 | 第18-19页 |
| 第三章 ZnO薄膜的制备方法和表征手段 | 第19-27页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射法介绍 | 第20-25页 |
| ·直流磁控溅射 | 第21-23页 |
| ·射频磁控溅射 | 第23-25页 |
| ·磁控溅射的优点 | 第25页 |
| ·ZnO薄膜的表征手段 | 第25-27页 |
| 第四章 钒掺杂ZnO薄膜的特性研究 | 第27-39页 |
| ·实验过程 | 第27页 |
| ·实验结果与分析 | 第27-38页 |
| ·SEM分析 | 第27-28页 |
| ·EDS分析 | 第28-30页 |
| ·XRD分析 | 第30-33页 |
| ·透射光谱分析 | 第33-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 钒氮共掺杂ZnO薄膜的特性研究 | 第39-51页 |
| ·实验过程 | 第39页 |
| ·实验结果与分析 | 第39-49页 |
| ·钒靶溅射功率对钒氮共掺ZnO膜的影响 | 第39-45页 |
| ·XRD分析 | 第39-40页 |
| ·Raman分析 | 第40-41页 |
| ·透射光谱分析 | 第41-42页 |
| ·光致发光谱分析 | 第42-45页 |
| ·退火对钒氮共掺ZnO膜的影响 | 第45-49页 |
| ·XRD分析 | 第45-46页 |
| ·Raman分析 | 第46-47页 |
| ·透射光谱分析 | 第47-48页 |
| ·光致发光谱分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 全文总结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
