光刻机掩模台系统的动力学分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·光刻机的国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·光刻机掩模台系统 | 第10-11页 |
| ·多体系统动力学研究现状 | 第11-13页 |
| ·多体动力学研究现状 | 第11-12页 |
| ·虚拟样机技术研究现状 | 第12-13页 |
| ·本课题的来源 | 第13页 |
| ·本文研究内容 | 第13-15页 |
| 2 掩模台系统结构及简化 | 第15-21页 |
| ·掩模台系统的运动结构 | 第15-16页 |
| ·掩模台支撑系统 | 第16-17页 |
| ·掩模台系统的简化 | 第17-20页 |
| ·掩模台支撑系统的简化 | 第18-19页 |
| ·掩模台运动系统简化 | 第19-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 3 掩模台系统动力学建模 | 第21-38页 |
| ·SimMechanics 建模方法 | 第21-23页 |
| ·力元作用机理 | 第23-26页 |
| ·掩模台系统建模 | 第26-28页 |
| ·SimMechanics 建模方法验证 | 第28-30页 |
| ·多刚体系统数学建模 | 第30-33页 |
| ·动力学模型等价简化 | 第33-37页 |
| ·掩模台直线电机系统等价简化 | 第33-35页 |
| ·Chuck 与大理石连接处的简化 | 第35-36页 |
| ·简化前后仿真速度对比 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 掩模台系统动力学分析与优化 | 第38-49页 |
| ·动力学分析与优化流程 | 第38-39页 |
| ·振动模态分析 | 第39-42页 |
| ·传递函数分析 | 第42-45页 |
| ·参数灵敏度分析 | 第45-46页 |
| ·参数优化 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 5 掩模台系统动力学试验研究 | 第49-55页 |
| ·试验原理与方案 | 第49-51页 |
| ·试验结果与分析 | 第51-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
