| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 概述 | 第9-20页 |
| ·硅微加速度传感器的研究现状 | 第9-10页 |
| ·硅微加速度传感器的集成技术 | 第10-14页 |
| ·厚膜混合集成加速度传感器 | 第14-16页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的方案设计 | 第16-19页 |
| ·硅微加速度传感器集成工艺的选择 | 第16-17页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的设计方案 | 第17-19页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第19-20页 |
| 2. 硅微加速度传感器芯片的结构和信号调节电路设计 | 第20-33页 |
| ·硅微加速度传感器芯片的设计 | 第20-24页 |
| ·压阻式加速度传感器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·硅微加速度传感器芯片的结构设计 | 第21-24页 |
| ·硅微加速度传感器的电路设计 | 第24-33页 |
| ·硅微加速度传感器的供电方式 | 第24-26页 |
| ·加速度传感器的温度补偿电路设计 | 第26-30页 |
| ·硅微加速度传感器信号调节电路设计 | 第30-31页 |
| ·硅微加速度传感器信号调节电路PCB板验证 | 第31-33页 |
| 3. 厚膜混合集成硅微加速度传感器的实现 | 第33-62页 |
| ·硅微加速度传感器的厚膜混合电路设计 | 第33-40页 |
| ·硅微加速度传感器的厚膜混合电路设计流程 | 第33-35页 |
| ·厚膜混合电路板图设计和布图规则 | 第35-40页 |
| ·厚膜集成硅微加速度传感器的制作工艺 | 第40-48页 |
| ·厚膜集成硅微加速度传感器的制作工艺流程 | 第40-47页 |
| ·厚膜集成硅微加速度传感器的制作工艺中注意事项 | 第47-48页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的主要加工工艺及参数 | 第48-62页 |
| ·丝网印刷 | 第48-54页 |
| ·厚膜烧结及其工艺参数 | 第54-57页 |
| ·组装工艺 | 第57-62页 |
| 4. 厚膜混合集成硅微加速度传感器的封装和测试 | 第62-77页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的封装 | 第62-65页 |
| ·封装的功能 | 第62-63页 |
| ·封装的方法 | 第63-64页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的封装技术 | 第64页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的封装的实现 | 第64-65页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器封装后的残余应力 | 第65-67页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的测试 | 第67-77页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的电气测试 | 第67-68页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的性能测试 | 第68-74页 |
| ·厚膜混合集成硅微加速度传感器的测试结果分析 | 第74-77页 |
| 5. 总结 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |