氦质谱检漏仪的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·检漏技术的发展及现状 | 第9-12页 |
| ·一些与课题相关的基本定义 | 第9-10页 |
| ·检漏技术发展及现状 | 第10-12页 |
| ·氦质谱检漏仪的发展及研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 氦质谱检漏仪系统总体方案设计 | 第14-24页 |
| ·氦质谱检漏原理与技术介绍 | 第14-16页 |
| ·氦质谱检漏仪的基本原理 | 第14-15页 |
| ·氦质谱检漏仪的检漏方式 | 第15-16页 |
| ·氦质谱检漏仪性能试验方法 | 第16页 |
| ·氦质谱检漏仪系统总体方案设计 | 第16-23页 |
| ·系统设计需求 | 第16-18页 |
| ·电子模件总体方案设计 | 第18-19页 |
| ·质谱模件各组成部件 | 第19-21页 |
| ·控制系统各组成单元 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 控制系统的硬件电路设计 | 第24-35页 |
| ·硬件电路总体结构设计 | 第24-25页 |
| ·CPU控制电路板的设计 | 第25-31页 |
| ·二次数据处理电路 | 第26-27页 |
| ·A/D电路 | 第27-28页 |
| ·D/A电路 | 第28-29页 |
| ·单片机及外围电路 | 第29-31页 |
| ·I/O电路板的设计 | 第31-34页 |
| ·数字输入电路 | 第32-33页 |
| ·数字输出电路 | 第33-34页 |
| ·转换底板及显示单元 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 系统软件的设计 | 第35-47页 |
| ·系统控制主程序流程图 | 第35-36页 |
| ·启动程序模块设计 | 第36-37页 |
| ·自动校准程序的实现 | 第37-39页 |
| ·检测算法的实现 | 第39-43页 |
| ·零点漂移的克服算法 | 第39页 |
| ·数字滤波算法 | 第39-40页 |
| ·温度补偿的实现 | 第40页 |
| ·检测漏率值计算 | 第40-43页 |
| ·通讯模块的实现 | 第43-46页 |
| ·分子泵、真空计通讯的实现 | 第43-45页 |
| ·触摸屏通讯的实现 | 第45-46页 |
| ·CRC校验原理 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 调试与试验 | 第47-53页 |
| ·单元电路调试 | 第47-48页 |
| ·系统功能测试 | 第48-51页 |
| ·启动程序及模式切换功能试验 | 第48-49页 |
| ·自动校准程序试验 | 第49-50页 |
| ·漏率检测试验 | 第50-51页 |
| ·测量范围试验 | 第51页 |
| ·本章总结 | 第51-53页 |
| 第六章 结论和展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 主要参考文献 | 第57-58页 |
