| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·研究背景及意义 | 第14页 |
| ·精密定位的类型 | 第14-15页 |
| ·大行程纳米定位技术的相关研究内容 | 第15-17页 |
| ·大行程纳米定位技术的国内外研究现状 | 第17-26页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 大行程纳米定位及其标定系统的构建 | 第28-43页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·大行程纳米定位工作台的确定 | 第28-30页 |
| ·宏微双驱动方式的大行程纳米定位及其标定系统 | 第30-33页 |
| ·宏动工作台 | 第30页 |
| ·微动工作台 | 第30-31页 |
| ·定位系统的反馈检测装置 | 第31页 |
| ·标定及支承系统 | 第31-33页 |
| ·宏定位系统 | 第33-36页 |
| ·宏动台及其驱动、测量装置 | 第33-34页 |
| ·宏定位控制系统 | 第34-36页 |
| ·微定位系统 | 第36-38页 |
| ·微动工作台 | 第36-38页 |
| ·细光栅测量装置 | 第38页 |
| ·宏、微定位系统的集成 | 第38-40页 |
| ·定位误差标定的激光干涉仪测量系统 | 第40-42页 |
| ·DISTAX L-LM-20B激光干涉测量系统 | 第40-41页 |
| ·激光干涉测量系统的误差分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 定位系统的误差分析及误差建模研究 | 第43-67页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·定位系统的误差分析、建模与补偿 | 第43-45页 |
| ·定位系统的误差源 | 第43-44页 |
| ·静态误差与动态误差 | 第44页 |
| ·定位误差补偿方法 | 第44-45页 |
| ·模型精度的评价方法 | 第45页 |
| ·静态误差的建模分析 | 第45-59页 |
| ·仿真模型与仿真方法 | 第46-47页 |
| ·曲线拟合模型 | 第47-49页 |
| ·代数插值模型 | 第49-52页 |
| ·基于RBF的神经网络模型 | 第52-57页 |
| ·不同静态误差模型建模精度的比较 | 第57-59页 |
| ·基于灰色系统理论的动态误差模型 | 第59-65页 |
| ·两种不同特征的动态误差 | 第59-60页 |
| ·动态数据建模方法概述 | 第60-61页 |
| ·基于灰色系统理论的GM(1，1)预测模型 | 第61-63页 |
| ·动态误差模型的仿真分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 宏动台振动测试分析 | 第67-78页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·宏动台振动测试分析的目的 | 第67-68页 |
| ·振动测试系统的构成 | 第68-69页 |
| ·振动测试方法和步骤 | 第69页 |
| ·傅立叶变换与小波变换在宏动台振动测试中的应用分析 | 第69-71页 |
| ·实验分析及验证 | 第71-77页 |
| ·基于傅立叶变换的实验分析 | 第71-73页 |
| ·振动测试数据的小波分析 | 第73-76页 |
| ·PID参数调整实验 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 宏微定位系统的动态建模及特性分析 | 第78-97页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·宏微定位方法 | 第78-81页 |
| ·宏微工作台的动力学模型 | 第81-88页 |
| ·动力学模型的建立 | 第81-85页 |
| ·不同参数配置下宏微工作台的动态特性 | 第85-88页 |
| ·宏微定位控制下的动态特性 | 第88-96页 |
| ·噪声干扰下的宏微定位 | 第89-91页 |
| ·正弦干扰下的动态补偿定位 | 第91-93页 |
| ·连续补偿下的宏微定位 | 第93-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第六章 误差补偿与定位控制的实验研究 | 第97-115页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·定位精度的评定标准 | 第97-99页 |
| ·定位精度的检验方法分析 | 第97-98页 |
| ·定位精度的评定指标 | 第98-99页 |
| ·定位误差的标定及分析 | 第99-102页 |
| ·大行程定位误差的标定 | 第99-100页 |
| ·微行程定位误差的标定 | 第100-102页 |
| ·宏动台静态误差补偿实验 | 第102-105页 |
| ·微动台动态误差补偿实验 | 第105-107页 |
| ·宏微定位实验 | 第107-114页 |
| ·宏微定位过程 | 第108页 |
| ·宏微定位精度评定 | 第108-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 第七章 全文总结与展望 | 第115-118页 |
| ·论文总结 | 第115页 |
| ·研究工作的主要结论 | 第115-116页 |
| ·论文研究中的新方法和新思路 | 第116页 |
| ·对后续研究工作的展望 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-126页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及参加的科研项目 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127页 |