聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制
| 研究成果声明 | 第1页 |
| 关于学位论文使用权的说明 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·温湿压集成传感器的研究意义及现状 | 第10-11页 |
| ·湿度传感器概述 | 第11-16页 |
| ·定义 | 第11-12页 |
| ·陶瓷湿度传感器 | 第12-13页 |
| ·聚合物湿度传感器 | 第13-15页 |
| ·多孔硅湿度传感器 | 第15-16页 |
| ·压力传感器概述 | 第16-20页 |
| ·定义 | 第16-17页 |
| ·压阻式压力传感器 | 第17-19页 |
| ·电容式压力传感器 | 第19-20页 |
| ·聚酰亚胺应变片式压力传感器 | 第20页 |
| ·集成传感器结构及工艺研究 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 温湿度传感器研制 | 第24-40页 |
| ·电极结构理论分析 | 第24-27页 |
| ·平行板电容边缘效应分析 | 第24-25页 |
| ·平行板电容等效电路分析 | 第25-26页 |
| ·叉指电极等效电容分析 | 第26-27页 |
| ·聚酰亚胺材料分析 | 第27-32页 |
| ·聚酰亚胺的感湿机理 | 第28-29页 |
| ·ZKPI型聚酰亚胺 | 第29页 |
| ·PI2555型聚酰亚胺 | 第29-30页 |
| ·聚酰亚胺的工艺流程 | 第30-32页 |
| ·工艺流程及测试结果 | 第32-39页 |
| ·结构设计 | 第32-33页 |
| ·器件制作及测试 | 第33-34页 |
| ·改进设计 | 第34-36页 |
| ·工艺流程 | 第36-38页 |
| ·测试结果 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 压力传感器研制 | 第40-48页 |
| ·应变片式传感器工作原理 | 第40-42页 |
| ·金属的应变效应 | 第40-41页 |
| ·直流电桥的工作原理 | 第41-42页 |
| ·应变片布置方案设计 | 第42-44页 |
| ·单面布置应变片 | 第42页 |
| ·双面布置应变片 | 第42-44页 |
| ·工艺流程及测试结果 | 第44-47页 |
| ·单面布置应变片式压力传感器 | 第44-45页 |
| ·双面布置应变片式压力传感器 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 集成传感器的工艺实现 | 第48-54页 |
| ·工艺流程 | 第48-51页 |
| ·关键工艺说明 | 第51-53页 |
| ·湿法腐蚀 | 第51-52页 |
| ·深刻蚀 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 集成传感器测试 | 第54-62页 |
| ·测试系统 | 第54-56页 |
| ·温度测量系统 | 第54页 |
| ·湿度测量系统 | 第54页 |
| ·压力测量系统 | 第54-56页 |
| ·测试结果 | 第56-61页 |
| ·温度测量结果 | 第56页 |
| ·湿度测量结果 | 第56-58页 |
| ·压力测量结果 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-65页 |
| ·论文主要研究内容和结果 | 第62-63页 |
| ·主要创新点和特点 | 第63页 |
| ·问题和展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 发表论文及其他成果目录 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
