| 第一章 绪论 | 第1-22页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·稀土超磁致伸缩薄膜材料 | 第7-8页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的制备方法 | 第8-10页 |
| ·薄膜的应力 | 第10-15页 |
| ·薄膜的应力及研究现状 | 第10-11页 |
| ·薄膜应力产生机制研究 | 第11-12页 |
| ·薄膜应力释放机制 | 第12-13页 |
| ·薄膜应力控制技术 | 第13-14页 |
| ·薄膜应力测量技术 | 第14-15页 |
| ·磁性薄膜的磁性能 | 第15-19页 |
| ·磁性薄膜的磁致伸缩性能 | 第15-17页 |
| ·磁致伸缩产生机理及唯象理论 | 第15-16页 |
| ·稀土超磁致伸缩薄膜的磁致伸缩 | 第16-17页 |
| ·铁磁体的磁滞回线理论 | 第17-19页 |
| ·铁磁体的磁化曲线及磁畴模型 | 第17-18页 |
| ·铁磁体的磁滞曲线 | 第18-19页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的研究重点及解决途径 | 第19-21页 |
| ·本文的主要工作 | 第21-22页 |
| 第二章 实验部分 | 第22-35页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-25页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第22-23页 |
| ·离子束溅射镀膜 | 第23-25页 |
| ·薄膜的厚度与沉积速率 | 第25页 |
| ·薄膜的真空热处理 | 第25页 |
| ·薄膜的表面观测与成分、结构分析 | 第25-26页 |
| ·基片与薄膜弹性模量的测量 | 第26-28页 |
| ·基片弹性模量Es的测量 | 第26-27页 |
| ·薄膜弹性模量Ef的测量 | 第27-28页 |
| ·薄膜应力的测量 | 第28-29页 |
| ·磁性薄膜的软磁性能测试 | 第29页 |
| ·薄膜磁致伸缩的测量 | 第29-35页 |
| ·仪器的标定 | 第29-32页 |
| ·磁性薄膜λ的悬臂梁-电容法测定 | 第32-35页 |
| ·悬臂梁最大挠度测定值的修正 | 第32-33页 |
| ·薄膜磁致伸缩系数的计算 | 第33页 |
| ·薄膜磁致伸缩系数与磁场强度曲线的测定 | 第33-35页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第35-73页 |
| ·基片弹性模量E_S的测量结果与分析 | 第35-39页 |
| ·锡青铜基片(QSn) | 第35-37页 |
| ·锡青铜基片E_s的悬臂梁-加载法测量结果 | 第35页 |
| ·锡青铜基片E_s的纳米压痕仪测量结果 | 第35-37页 |
| ·单晶硅基片(Si) | 第37-39页 |
| ·单晶硅基片E_s的悬臂梁-加载法测量结果 | 第37页 |
| ·单晶硅基片E_s的纳米压痕仪测量结果 | 第37-39页 |
| ·薄膜弹性模量的测量结果与分析 | 第39-46页 |
| ·Sm-Fe 薄膜Ef的纳米压痕仪测量结果 | 第39-44页 |
| ·TbDy-Fe 薄膜Ef的纳米压痕仪测量结果 | 第44-46页 |
| ·Sm-Fe 薄膜的厚度和沉积速率 | 第46-49页 |
| ·质量膜厚与形状膜厚的对比 | 第46页 |
| ·溅射方位对薄膜厚度和沉积速率的影响 | 第46-48页 |
| ·溅射时间对薄膜厚度和沉积速率的影响 | 第48-49页 |
| ·Sm-Fe 薄膜的表面形貌、成分与结构 | 第49-52页 |
| ·不同衬底Sm-Fe 薄膜样品的表面形貌 | 第49-50页 |
| ·Sm-Fe 薄膜样品的成分 | 第50-51页 |
| ·Sm-Fe 薄膜样品的结构 | 第51-52页 |
| ·Sm-Fe 薄膜的应力研究 | 第52-58页 |
| ·不同溅射角度下的Sm-Fe 薄膜的应力 | 第52页 |
| ·镀膜前基片的弯曲半径大小对薄膜应力的影响 | 第52-54页 |
| ·溅射时间对Sm-Fe 薄膜应力的影响 | 第54-55页 |
| ·热处理对Sm-Fe 薄膜应力的影响 | 第55-58页 |
| ·Sm-Fe 薄膜的软磁性能研究 | 第58-65页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/锡青铜衬底的软磁性能研究 | 第58-62页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/单晶硅衬底的软磁性能研究 | 第62-65页 |
| ·Sm-Fe 薄膜的磁致伸缩性能研究 | 第65-73页 |
| ·不同衬底Sm-Fe 薄膜的磁致伸缩性能 | 第65-71页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/QSn 衬底(0.05mm 厚)的磁伸性能 | 第65-67页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/QSn 衬底(0.035mm 厚)的磁伸性能 | 第67-69页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/QBe 衬底(0.1mm 厚)的磁伸性能 | 第69页 |
| ·Sm-Fe 薄膜/Glass 衬底(0.17mm 厚)的磁伸性能 | 第69-71页 |
| ·热处理对Sm-Fe 薄膜磁致伸缩性能的影响 | 第71-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 个人简历 | 第81页 |
| 在学期间参加的科研项目 | 第81页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第81页 |
