| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| §1-1 硅薄膜太阳电池的国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1-1-1 非晶硅太阳电池 | 第9-11页 |
| 1-1-2 微晶硅太阳电池 | 第11-14页 |
| §1-2 选题的目的和意义 | 第14-15页 |
| §1-3 研究内容 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第二章 硅薄膜的沉积原理、制备方法及其测试技术 | 第19-35页 |
| §2-1 硅薄膜的沉积原理 | 第19-24页 |
| 2-1-1 薄膜沉积的物理过程 | 第19-20页 |
| 2-1-2 硅烷和氢气中的等离子体化学反应 | 第20-22页 |
| 2-1-3 硅薄膜的生长过程 | 第22-24页 |
| §2-2 硅薄膜材料及电池的制备方法 | 第24-27页 |
| 2-2-1 等离子体增强化学气相沉积 | 第24-25页 |
| 2-2-2 射频等离子体增强化学气相沉积 | 第25-26页 |
| 2-2-3 甚高频等离子体增强化学气相沉积技术 | 第26页 |
| 2-2-4 热丝化学气相沉积 | 第26-27页 |
| 2-2-5 光化学气相沉积 | 第27页 |
| §2-3 硅薄膜材料及电池的测试技术 | 第27-33页 |
| 2-3-1 硅薄膜材料电导的测量原理 | 第27页 |
| 2-3-2 拉曼(Raman)散射光谱材料分析原理 | 第27-29页 |
| 2-3-3 恒定光电流法测试硅薄膜材料的吸收谱 | 第29-30页 |
| 2-3-4 硅薄膜太阳电池J-V曲线测试原理 | 第30-31页 |
| 2-3-5 硅薄膜太阳电池量子效率(QE)测试原理 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-35页 |
| 第三章 硅薄膜材料光致衰退现象的研究 | 第35-43页 |
| §3-1 引言 | 第35-36页 |
| §3-2 硅烷浓度对硅薄膜材料性能的影响 | 第36-38页 |
| 3-2-1 硅薄膜材料的制备工艺 | 第36页 |
| 3-2-2 硅烷浓度对硅薄膜材料微结构的影响 | 第36-37页 |
| 3-2-3 硅烷浓度对硅薄膜光敏性的影响 | 第37-38页 |
| §3-3 硅薄膜材料光稳定性的研究 | 第38-41页 |
| §3-4 小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第四章 微晶硅薄膜太阳电池光稳定性的研究 | 第43-52页 |
| §4-1 引言 | 第43页 |
| §4-2 微晶硅薄膜太阳电池的初始性能及微观结构 | 第43-45页 |
| 4-2-1 微晶硅电池的制备工艺 | 第43-44页 |
| 4-2-2 微晶硅电池的光电特性及微观结构 | 第44-45页 |
| §4-3 微晶硅薄膜太阳电池光稳定性的研究 | 第45-50页 |
| 4-3-1 不同硅烷浓度微晶硅薄膜太阳电池光衰退现象的研究 | 第45-48页 |
| 4-3-2 不同沉积时间的微晶硅薄膜太阳电池光衰退现象的研究 | 第48-50页 |
| §4-4 小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第五章 叠层非晶硅薄膜太阳电池稳定性及长期寿命的研究 | 第52-66页 |
| §5-1 引言 | 第52-53页 |
| §5-2 叠层硅薄膜太阳电池的制备及其稳定性的研究 | 第53-59页 |
| 5-2-1 叠层太阳电池的制备 | 第53-54页 |
| 5-2-2 叠层太阳电池稳定的研究 | 第54-59页 |
| §5-3 非晶／非晶叠层太阳电池长期寿命的研究 | 第59-64页 |
| 5-3-1 数学模型简介 | 第59-61页 |
| 5-3-2 实验所用数学模型简介 | 第61页 |
| 5-3-3 模拟结果及讨论 | 第61-64页 |
| §5-4 小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-67页 |
| 附录A | 第67-68页 |
| 附录B | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第72-73页 |
