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7A04铝合金等离子体浸没离子注入与沉积改性研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第1章 绪论第12-20页
   ·7A04超硬铝合金性能特点及应用第12-13页
   ·几种传统的铝合金表面改性方法第13-15页
     ·阳极氧化第13页
     ·微弧氧化第13-14页
     ·稀土转化膜第14-15页
     ·激光熔覆第15页
   ·等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及应用第15-19页
     ·离子注入产生的背景及特点第15-16页
     ·传统束线式离子注入与全方位浸没注入方法的区别第16-18页
     ·等离子体浸没离子注入与沉积技术的应用第18-19页
   ·本论文的研究目的及内容第19-20页
第2章 实验方法及原理第20-27页
   ·样品制备第20页
   ·氮化铝改性层的制备及人工时效处理第20-21页
     ·氮化铝改性层的制备第20页
     ·固溶、人工时效处理第20-21页
   ·薄膜制备第21页
     ·过渡层的制备第21页
     ·类金刚石薄膜的制备第21页
   ·表面形貌表征第21页
   ·类金刚石薄膜结构表征-拉曼光谱第21-22页
   ·薄膜厚度及内应力表征第22-23页
   ·成分检测(XPS/EDX)第23-24页
     ·X射线光电子谱(XPS)第23-24页
     ·能量色散谱仪(EDX)第24页
   ·机械性能表征第24-25页
     ·显微硬度第24页
     ·摩擦磨损性能第24-25页
   ·膜基结合力评价第25-26页
     ·维氏压痕法第25页
     ·纳米划痕法第25-26页
   ·电化学极化实验第26-27页
第3章 氮等离子体浸没离子注入改性对7A04铝合金结构性能的影响第27-39页
   ·低压高频氮化第27-34页
     ·低压高频氮化工艺第27-28页
     ·改性层成分分析第28-29页
     ·显微硬度第29-30页
     ·氮化改性试样摩擦磨损性能第30-31页
     ·氮化改性与人工时效复合处理试样机械性能第31-34页
   ·高压低频注氮第34-38页
     ·实验目的及工艺第34页
     ·改性层成分分析第34-35页
     ·显微硬度第35-36页
     ·摩擦磨损性能分析第36-38页
   ·小结第38-39页
第4章 高压低频等离子体浸没离子注入与沉积技术沉积DLC薄膜第39-66页
   ·过渡层对薄膜结构性能的影响第39-53页
     ·薄膜制备第39-40页
     ·薄膜结构检测第40-41页
     ·薄膜残余应力第41-42页
     ·显微硬度第42-43页
     ·膜基结合力评价第43-46页
     ·摩擦磨损性能第46-51页
     ·电化学极化实验第51-53页
   ·气压对薄膜结构性能的影响第53-64页
     ·实验工艺第53-54页
     ·薄膜厚度及表面形态第54-55页
     ·薄膜结构分析第55-56页
     ·薄膜残余应力第56页
     ·显微硬度分析第56-57页
     ·结合力评价第57-59页
     ·摩擦磨损性能分析第59-63页
     ·电化学极化实验第63-64页
   ·本章小结第64-66页
第5章 低压高频等离子体浸没离子注入与沉积技术沉积DLC薄膜第66-73页
   ·制备工艺第66-67页
   ·薄膜厚度分析第67-68页
   ·薄膜结合力评价第68-69页
   ·显微硬度第69页
   ·摩擦磨损分析第69-72页
   ·本章小结第72-73页
结论第73-74页
致谢第74-75页
参考文献第75-81页
攻读硕士期间发表的论文第81页

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