谐振增强型AFM闭环反馈控制系统的研究

第一章 绪论	第1-20页
·扫描探针显微术的发展及现状	第6-10页
·原子力显微镜的结构及工作原理	第10-12页
·谐振增强型AFM的闭环控制模式	第12-17页
·非接触谐振增强型AFM的伺服控制	第12-13页
·轻敲模式谐振增强型AFM的伺服控制	第13-17页
·本课题研究内容和目的	第17-20页
第二章 非接触谐振增强型闭环AFM的系统设计	第20-35页
·闭环AFM的整体结构	第20-21页
·微位移机构设计	第21-22页
·X-Y向压电扫描控制方案	第21页
·Z向微位移设计	第21-22页
·微弱力检测部分	第22-31页
·力传感器—微悬臂的要求及选择	第22-24页
·点衍射干涉在微位移检测中的应用	第24-28页
·微探针驱动及微弱信号的检测	第28-31页
·反馈控制系统设计	第31-35页
·反馈控制系统设计分析	第31页
·PID控制在反馈系统中的应用	第31-32页
·本系统所采用反馈控制系统分析	第32-35页
第三章 闭环AFM系统的硬件设计及改进	第35-58页
·四维探针调节机构及闭环系统样品台的设计	第35-38页
·Z向压电样品台的改进	第35-36页
·微探针四维微调节机构的设计与制作	第36-38页
·开环电路的改进与调试	第38-41页
·光电管前置放大电路的改进与调试	第38-39页
·频率合成部分的设计与改进	第39-41页
·反馈控制系统的设计及制作	第41-58页
·电路设计原理和功能分析	第42-43页
·压电体的特性分析及选择	第43-45页
·锁相电路部分	第45-47页
·低通滤波及比较积分电路部分	第47-51页
·高压放大电路部分	第51-53页
·线路板制作及闭环系统调试	第53-58页
第四章 软件系统设计	第58-69页
·样品扫描及数据采集处理过程	第58-61页
·多功能AD／DA采集卡的编程控制	第61-62页
·纳米级图像的三维面型显示	第62-66页
·纳米级图像的三维建模	第62页
·图像处理模式	第62-65页
·OpenGL的可视化设计	第65-66页
·PZT驱动及力曲线测量编程	第66-69页
第五章 闭环AFM系统实验与结果分析	第69-76页
·系统实验	第69-70页
·力曲线测量及结果分析	第70-72页
·表面形貌测量及结果分析	第72-74页
·开环测量结果	第72-73页
·闭环测量结果	第73-74页
·两种测量模式的结果比较	第74页
·近一步工作展望	第74-76页
硕士在读期间已发表的论文	第76-77页
致谢	第77页