光学晶体材料超精密抛光机理及加工工艺的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·超精密加工技术的发展现状 | 第8-11页 |
| ·脆性光学材料及其超精密加工方法 | 第11-14页 |
| ·光学材料及其应用 | 第11-13页 |
| ·脆性光学材料的超精密加工方法 | 第13-14页 |
| ·超精密抛光技术发展现状 | 第14-16页 |
| ·磁流变抛光(MRF) | 第15-16页 |
| ·激光抛光(LP) | 第16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 散粒磨料加工光学材料抛光区应力场计算 | 第18-32页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·单晶脆性光学材料的磨屑形成过程 | 第18-21页 |
| ·单颗粒磨粒切削光学材料的磨屑形成过程 | 第18-20页 |
| ·多颗粒磨粒磨削光学材料的磨屑形成过程 | 第20-21页 |
| ·单晶脆性光学材料表面应功变化分析 | 第21-31页 |
| ·单点磨粒作用材料表面应力分析 | 第21-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 古典法抛光光学晶体材料表面质量试验 | 第32-52页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·古典法抛光机理的研究 | 第32-36页 |
| ·古典法抛光机理及其装置 | 第32-33页 |
| ·古典法抛光运动轨迹分析 | 第33-36页 |
| ·古典法抛光实验 | 第36-39页 |
| ·实验用光学晶体材料 | 第36-37页 |
| ·古典法抛光实验 | 第37-39页 |
| ·古典法抛光实验结果分析 | 第39-50页 |
| ·面型精度的测量 | 第39-42页 |
| ·表面粗糙度测量 | 第42-45页 |
| ·实验结果分析 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 环型抛光晶体材料表面质量实验 | 第52-73页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·环型抛光机理分析 | 第52-58页 |
| ·环型抛光设备及其工作原理 | 第52-56页 |
| ·环型抛光磨削机理研究 | 第56-58页 |
| ·环型抛光技术实验研究 | 第58-71页 |
| ·抛光液 | 第58页 |
| ·抛光模层材料 | 第58-60页 |
| ·抛光环境分析 | 第60-63页 |
| ·抛光压力 | 第63-67页 |
| ·抛光速度 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 结论 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
