多重牵引分子泵的的性能测试及其应用
第一章 绪论 | 第1-19页 |
·引言 | 第13页 |
·分子泵的发展历史及性能特点 | 第13-16页 |
·现有分子泵的局限性 | 第16-17页 |
·本课题研究的内容及意义 | 第17-19页 |
第二章 多重牵引分子泵的原理、结构和性能 | 第19-25页 |
·牵引分子泵的工作原理 | 第19-21页 |
·多重牵引分子泵的结构特点与性能 | 第21-25页 |
第三章 多重牵引分子泵的性能测试 | 第25-36页 |
·测试原理 | 第25-28页 |
·测量方法 | 第25-28页 |
·测试标准 | 第28-32页 |
·内容及适用范围 | 第28页 |
·一些术语 | 第28-29页 |
·装置(压力范围1-10~(-4)帕) | 第29-31页 |
·测试方法(压力范围为1-10~(-4)帕) | 第31页 |
·装置(压力范围低于10~(-3)帕) | 第31-32页 |
·测试方法(压力范围低于10~(-3)帕) | 第32页 |
·具体测试步骤 | 第32-34页 |
·实验装置 | 第33页 |
·计算公式 | 第33页 |
·测量步骤 | 第33-34页 |
·测试记录 | 第34页 |
·测试曲线 | 第34-35页 |
·分析及总结 | 第35-36页 |
第四章 多重牵引分子泵在真空领域中的应用 | 第36-58页 |
·真空技术的应用概况 | 第36-37页 |
·综述 | 第36-37页 |
·多重牵引分子泵在真空领域中的应用概述 | 第37页 |
·多重牵引分子泵在一些领域应用的具体分析 | 第37-58页 |
·多重牵引分子泵在电力电容器真空排气装置中的应用 | 第37-38页 |
·多重牵引分子泵在太阳能真空集热管排气台中的应用 | 第38-39页 |
·多重牵引分子泵在真空镀膜方面的应用 | 第39-44页 |
·真空炉的概况及其发展前景 | 第44-45页 |
·一些具体真空炉的概况 | 第45-58页 |
第五章 多重牵引分子泵的具体改造实例 | 第58-63页 |
·简介 | 第58-60页 |
·实验装置 | 第60页 |
·实验结果 | 第60-62页 |
·存在问题 | 第62页 |
·结论 | 第62-63页 |
第六章 结论 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-66页 |