| 中文摘要 | 第1-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-21页 |
| 1．1 微电子机械系统（MEMS）简介 | 第8-9页 |
| 1．2 硅微机械加工技术 | 第9-13页 |
| 1．3 MEMS器件及其应用 | 第13-15页 |
| 1．4 微机械加速度传感器 | 第15-19页 |
| 1．5 本章小结 | 第19-21页 |
| 第二章 单晶硅破坏强度的测量 | 第21-28页 |
| 2．1 引言 | 第21页 |
| 2．2 测量装置 | 第21-22页 |
| 2．3 悬臂梁岛结构的应力分析 | 第22-24页 |
| 2．4 实验测量结果 | 第24-26页 |
| 2．5 讨论及结论 | 第26-28页 |
| 第三章 高量程压阻式加速度传感器结构和工作原理 | 第28-46页 |
| 3．1 引言 | 第28页 |
| 3．2 传感器的结构 | 第28-29页 |
| 3．3 传感器的工作原理 | 第29-35页 |
| 3．4 传感器的频率响应 | 第35-37页 |
| 3．5 芯片结构的优化设计及尺寸的确定 | 第37-41页 |
| 3．6 传感器的横向效应、温度特性及双金属效应 | 第41-45页 |
| 3．7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 加速度传感器的工艺研究 | 第46-58页 |
| 4．1 传感器基本工艺参数的确定 | 第46-47页 |
| 4．2 传感器芯片的版图设计 | 第47-49页 |
| 4．3 双薄板梁岛结构芯片的制作工艺 | 第49-52页 |
| 4．4 框架的工艺制作 | 第52页 |
| 4．5 工艺中的监控和测量 | 第52-54页 |
| 4．6 传感器制作工艺的改进 | 第54-55页 |
| 4．7 传感器的封装 | 第55-56页 |
| 4．8 存在的问题 | 第56-58页 |
| 第五章 高量程加速度传感器的静态和动态测试 | 第58-74页 |
| 5．1 加速度传感器静态特性测量 | 第58-62页 |
| 5．2 加速度传感器动态特性的测定 | 第62-72页 |
| 5．3 有关问题的讨论 | 第72-73页 |
| 5．4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 器件的改进及新结构的设计 | 第74-79页 |
| 6．1 原有结构的改进 | 第74-75页 |
| 6．2 新结构的设计 | 第75-78页 |
| 6．3 本章小结 | 第78-79页 |
| 第七章 总结 | 第79-80页 |
| 附录 | 第80-90页 |
| 附录一 KOH与TMAH对硅（100）和二氧化硅的腐蚀速率 | 第80-82页 |
| 附录二 破坏强度测量数据 | 第82-84页 |
| 附录三 加速度传感器静态特性数据 | 第84-87页 |
| 附录四 加载质量与各个应变电阻的变化的数据 | 第87-88页 |
| 附录五 ANSYS分析程序 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 个人简介、发表文章 | 第94页 |