微结构热电偶波功率计设计与制造
| <中文摘要> | 第1页 |
| <关键词> | 第4-5页 |
| <英文摘要> | 第5页 |
| <英文关键词> | 第5-6页 |
| 第一章 前言 | 第6-17页 |
| · 微电子机械系统（MEMS）的出现 | 第6-7页 |
| · 微电子机械系统（MEMS）定义 | 第7页 |
| · 微电子机械系统（MEMS）与微电子 | 第7-8页 |
| · 微电子机械系统（MEMS）与纳米技术 | 第8-9页 |
| · MEMS设计特点和模拟工具 | 第9-15页 |
| · MEMS的应用与发展 | 第15-17页 |
| 第二章 设计原理 | 第17-26页 |
| · 功率测量 | 第17-19页 |
| · 塞贝克(Seeback)效应 | 第19-22页 |
| · 热电偶 | 第22-26页 |
| 第三章 器件设计 | 第26-36页 |
| · 设计流程 | 第26-27页 |
| · 设计要求 | 第27-28页 |
| · 设计构想 | 第28-29页 |
| · 电路结构 | 第29-32页 |
| · 热学结构 | 第32-34页 |
| · 传感器参数 | 第34-36页 |
| 第四章 管芯制造 | 第36-44页 |
| · MEMS 工艺 | 第36-38页 |
| · MEMS 工艺特点 | 第38-40页 |
| · 管芯制造 | 第40-42页 |
| · 管芯测试 | 第42-44页 |
| 第五章 微波功率计探头结构 | 第44-51页 |
| · 管芯安装 | 第44-45页 |
| · 微波功率计探头结构 | 第45-51页 |
| 第六章 性能测试 | 第51-58页 |
| · 性能测试 | 第51-55页 |
| · 结果分析 | 第55-56页 |
| · 总结 | 第56-58页 |
| <引文> | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
