电容型微差压伺服传感器设计和制作
| <中文摘要> | 第1-8页 |
| <英文摘要> | 第8-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-32页 |
| ·简介 | 第9-11页 |
| ·MEMS器件和应用 | 第11-13页 |
| ·压力传感器 | 第13-25页 |
| ·论文内容 | 第25-26页 |
| <参考文献> | 第26-32页 |
| 第二章 传感器原理和设计模型 | 第32-54页 |
| ·概述 | 第32页 |
| ·器件结构和原理 | 第32-37页 |
| ·薄膜理论 | 第37-52页 |
| ·本章结论 | 第52-53页 |
| <参考文献> | 第53-54页 |
| 第三章 自停止腐蚀工艺及实验结果 | 第54-65页 |
| ·概述 | 第54页 |
| ·硼扩散 | 第54-56页 |
| ·KOH自停止腐蚀 | 第56-57页 |
| ·工艺应用 | 第57-61页 |
| ·工艺质量分析 | 第61-63页 |
| ·本章总结 | 第63页 |
| <参考文献> | 第63-65页 |
| 第四章 微差压传感器的制作 | 第65-76页 |
| ·概述 | 第65页 |
| ·掩膜版 | 第65-68页 |
| ·工艺流程 | 第68-73页 |
| ·影响器件成品率的一些原因 | 第73-76页 |
| ·本章总结 | 第75-76页 |
| 第五章 器件检测结果和讨论 | 第76-87页 |
| ·概述 | 第76页 |
| ·测量方法 | 第76-77页 |
| ·平膜器件的输出特性 | 第77-80页 |
| ·E型膜器件的输出特性 | 第80-85页 |
| ·本章总结 | 第85-87页 |
| 第六章 结束语 | 第87-88页 |
| 附录 | 第88-104页 |
| 附录A 压力的单位 | 第88-89页 |
| 附录B E形膜结构力矩万程的一种解法 | 第89-93页 |
| 附录C 常用腐蚀速率表 | 第93-95页 |
| 附录D 原始数据:台阶仪测量结果 | 第95-99页 |
| 附录E 两种光栅薄膜的表面数据 | 第99-103页 |
| 附录F 封装外壳尺寸 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 个人简历 | 第105页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第105页 |
