CVD金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-29页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·CVD 金刚石的性能及其在刀具领域的应用 | 第19-21页 |
| ·CVD 金刚石性能及其应用 | 第19页 |
| ·CVD 金刚石刀具 | 第19-21页 |
| ·CVD 金刚石涂层刀具研究进展 | 第21-28页 |
| ·沉积方法与机理 | 第22-24页 |
| ·基体预处理 | 第24-26页 |
| ·过渡层 | 第26-27页 |
| ·低温生长 | 第27页 |
| ·高速与高效生长 | 第27-28页 |
| ·CVD 金刚石涂层的评价 | 第28页 |
| ·研究意义和研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 刀具CVD 金刚石涂层剥离机理研究 | 第29-42页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·CVD 金刚石涂层的微孔洞界面模型 | 第29-36页 |
| ·断裂及裂纹 | 第29-31页 |
| ·界面上涂层的微孔洞 | 第31页 |
| ·微孔洞界面模型 | 第31-36页 |
| ·涂层的剥离 | 第36-38页 |
| ·界面裂纹扩展 | 第36-37页 |
| ·涂层裂纹萌生 | 第37-38页 |
| ·断裂 | 第38页 |
| ·影响涂层剥落的因素 | 第38-41页 |
| ·吸附力 | 第38页 |
| ·界面处的嵌结作用 | 第38-39页 |
| ·成核密度 | 第39-41页 |
| ·残余应力 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 CVD 金刚石沉积系统反应气体流场研究 | 第42-56页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·反应气体流场概述 | 第42-48页 |
| ·沉积系统及沉积条件 | 第42-43页 |
| ·反应气体流场对CVD 金刚石涂层的影响 | 第43-44页 |
| ·流场模型 | 第44-45页 |
| ·反应气体特性 | 第45-48页 |
| ·反应气体流场的仿真研究 | 第48-54页 |
| ·有限元模型 | 第48页 |
| ·求解 | 第48-49页 |
| ·仿真结果及分析 | 第49-52页 |
| ·镂空结构的衬底工作台流场仿真 | 第52-54页 |
| ·试验研究 | 第54页 |
| ·试验条件 | 第54页 |
| ·试验结果与讨论 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 刀具基体温度研究与高热阻衬底工作台设计 | 第56-72页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·刀具基体温度研究 | 第56-60页 |
| ·基体温度的作用 | 第56-57页 |
| ·刀具基体能量交换 | 第57-60页 |
| ·刀具基体温度的测量 | 第60页 |
| ·高热阻衬底工作台 | 第60-68页 |
| ·强制冷却衬底工作台存在的问题 | 第60-61页 |
| ·高热阻镂空衬底工作台设计 | 第61-63页 |
| ·刀具基体温度仿真与试验研究 | 第63-68页 |
| ·金刚石涂层制备试验 | 第68-71页 |
| ·金刚石成核 | 第68-69页 |
| ·金刚石生长 | 第69-71页 |
| ·多试件制备 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 膜/基结合界面研究 | 第72-89页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·膜/基界面结合性能的影响因素及测试方法 | 第72-77页 |
| ·膜/基界面结合性能的影响因素 | 第72-76页 |
| ·膜/基界面结合性能的测试方法 | 第76-77页 |
| ·基体预处理及膜/基界面研究 | 第77-88页 |
| ·刻蚀不均匀问题 | 第77-78页 |
| ·一次脱Co 试验 | 第78-81页 |
| ·刻蚀深度研究 | 第81-85页 |
| ·梯度法表面预处理 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 CVD 金刚石涂层的残余应力研究 | 第89-107页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·涂层残余应力的构成 | 第89-90页 |
| ·涂层残余应力的试验研究 | 第90-102页 |
| ·试验方法 | 第90-91页 |
| ·结果与讨论 | 第91-102页 |
| ·残余应力对膜/基结合性能的影响 | 第102-104页 |
| ·高性能CVD 金刚石涂层刀具的制备 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 第七章 CVD 金刚石涂层刀具的切削试验研究 | 第107-119页 |
| ·引言 | 第107页 |
| ·切削试验研究 | 第107-118页 |
| ·研究概况 | 第107-108页 |
| ·试验条件 | 第108-110页 |
| ·结果与讨论 | 第110-118页 |
| ·发动机活塞加工 | 第118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第八章 总结与展望 | 第119-122页 |
| ·总结 | 第119-121页 |
| ·主要研究内容与成果 | 第119-120页 |
| ·主要创新点 | 第120-121页 |
| ·展望 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第138-140页 |
| 附录 博士期间完成的科研项目与取得的成果 | 第140页 |
