| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·微电子机械系统概述 | 第9-12页 |
| ·微电子机械系统简介 | 第9页 |
| ·与MEMS 技术相关的基础研究 | 第9-10页 |
| ·MEMS 典型器件和系统 | 第10-12页 |
| ·微机械开关概述 | 第12-15页 |
| ·微机械开关简介 | 第12-13页 |
| ·微开关的驱动方式与结构类型 | 第13-15页 |
| ·微开关的应用前景 | 第15页 |
| ·研究的目的与意义 | 第15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-16页 |
| ·论文的主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 微开关动态特性的数值求解 | 第17-34页 |
| ·悬臂梁式微开关的基本结构及原理 | 第17-20页 |
| ·集中参数模型及数值求解 | 第20-28页 |
| ·集中参数模型 | 第20-23页 |
| ·变步长的Runge-Kutta-Fehlberg 算法 | 第23-24页 |
| ·系统的动态阶跃响应 | 第24-28页 |
| ·分布参数模型及数值求解 | 第28-33页 |
| ·分布参数模型 | 第28-30页 |
| ·模态叠加法 | 第30-32页 |
| ·数值分析方法 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微开关动态特性的有限元仿真 | 第34-47页 |
| ·有限元法简介 | 第34-36页 |
| ·ANSYS 简介 | 第36页 |
| ·静力学分析 | 第36-38页 |
| ·静力学分析方法 | 第36-37页 |
| ·静态位移特性 | 第37-38页 |
| ·模态分析 | 第38-42页 |
| ·动力学分析 | 第42-46页 |
| ·动力学分析方法 | 第42-43页 |
| ·微开关的动态响应 | 第43-45页 |
| ·动态吸合电压与吸合时间的关系 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第四章 微开关结构参数选择对其性能的影响 | 第47-58页 |
| ·上下极板初始间距对开关性能的影响 | 第47-49页 |
| ·极板有效面积对开关性能的影响 | 第49-50页 |
| ·梁的长度对开关性能的影响 | 第50-51页 |
| ·梁的厚度对开关性能的影响 | 第51-53页 |
| ·梁的材料对开关性能的影响 | 第53-54页 |
| ·梁的形状对开关固有频率的影响 | 第54-56页 |
| ·梁的长度与固有频率的关系 | 第55页 |
| ·梁的厚度与固有频率的关系 | 第55-56页 |
| ·设计实例 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 在校期间发表论文 | 第64页 |