| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究目的和意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8页 |
| ·磁传感器发展现状 | 第8-12页 |
| ·感应线圈 | 第8-9页 |
| ·霍尔元件 | 第9页 |
| ·巨磁电阻效应器件(GMR) | 第9页 |
| ·磁通门磁强计 | 第9-10页 |
| ·超导测磁 | 第10-11页 |
| ·压磁/压电谐振式磁传感器 | 第11-12页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 石英音叉 | 第13-22页 |
| ·概述 | 第13页 |
| ·石英音叉物理性质及其等效电路 | 第13-17页 |
| ·压电效应 | 第13-14页 |
| ·石英晶体压电效应 | 第14-16页 |
| ·石英音叉等效电路及电学分析 | 第16-17页 |
| ·石英晶体振动模式 | 第17-19页 |
| ·用于磁传感器的石英音叉 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 磁性薄膜 | 第22-32页 |
| ·概述 | 第22页 |
| ·非晶态软磁合金性能特点及分类 | 第22-25页 |
| ·非晶态软磁合金性能特点 | 第22-23页 |
| ·非晶软磁材料分类 | 第23-25页 |
| ·磁性薄膜分类及其制备方法 | 第25-30页 |
| ·物理气相沉积方法 | 第25-26页 |
| ·化学气相沉积 | 第26-28页 |
| ·化学溶液镀膜法 | 第28-30页 |
| ·用于磁传感器的磁性薄膜 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器原理及结构设计 | 第32-46页 |
| ·概述 | 第32页 |
| ·磁传感器设计原理 | 第32-34页 |
| ·有限元分析 | 第34-44页 |
| ·有限元方法概述 | 第34-35页 |
| ·压电效应有限元分析方法 | 第35-37页 |
| ·石英音叉有限元分析建模 | 第37-41页 |
| ·模态分析 | 第41-43页 |
| ·薄膜粘贴位置分析设计 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 5 实验研究 | 第46-53页 |
| ·概述 | 第46页 |
| ·实验器件与实验系统 | 第46-48页 |
| ·实验器件制备 | 第46页 |
| ·实验系统构建 | 第46-47页 |
| ·网络分析仪 | 第47-48页 |
| ·薄膜粘贴敏感位置验证 | 第48-50页 |
| ·敏感结构磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器静态特性实验 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 6 总结与展望 | 第53-55页 |
| ·完成的主要工作 | 第53页 |
| ·进一步的工作与展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录 | 第60页 |