| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·原子力显微镜原理 | 第7-8页 |
| ·微悬臂梁的应用 | 第8-9页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定意义 | 第9-10页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数现有标定方法分析 | 第10-14页 |
| ·AFM 微悬臂梁轻敲力测量研究意义 | 第14-15页 |
| ·本文的工作内容 | 第15-17页 |
| 第二章 AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定方法与系统设计 | 第17-24页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定方法 | 第17-18页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定系统 | 第18-22页 |
| ·光杠杆 | 第19-20页 |
| ·超精密电磁天平 | 第20-21页 |
| ·PZT 驱动器结构设计 | 第21-22页 |
| ·基于本标定系统的AFM 微悬臂梁轻敲力测量方法 | 第22-23页 |
| ·AFM 微悬臂梁轻敲力测量结构设计 | 第23-24页 |
| 第三章 AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定系统硬件电路设计 | 第24-37页 |
| ·硬件控制电路总体设计 | 第24-25页 |
| ·MSP430 单片机外围电路设计 | 第25-26页 |
| ·MSP430F149 时钟电路设计 | 第25-26页 |
| ·MSP430F149 的JTAT 接口 | 第26页 |
| ·MSP430 的复位电路设计 | 第26页 |
| ·激光器开关电路设计 | 第26-27页 |
| ·直线步进电机驱动与PZT 驱动器电路 | 第27-28页 |
| ·自制高压恒压直流电源 | 第28-29页 |
| ·四象限探测器及其信号检测电路 | 第29-34页 |
| ·四象限探测器 | 第29-33页 |
| ·四象限探测器信号调理与转换 | 第33-34页 |
| ·微悬臂梁轻敲力测量硬件电路设计 | 第34-37页 |
| ·微悬臂梁谐振驱动电路设计 | 第34-35页 |
| ·微悬臂梁光斑振动检测电路 | 第35-37页 |
| 第四章 AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定系统软件设计 | 第37-45页 |
| ·步进电机的控制策略 | 第37-38页 |
| ·ADC 的程序设计 | 第38-39页 |
| ·DAC 的程序设计 | 第39页 |
| ·串口设置及通讯协议 | 第39-42页 |
| ·串口的设置 | 第39-40页 |
| ·通讯协议 | 第40-41页 |
| ·程序流程图 | 第41-42页 |
| ·微悬臂梁谐振电路软件设计 | 第42-43页 |
| ·上位PC 机控制界面 | 第43-45页 |
| 第五章 AFM 微悬臂梁横向弹性系数标定实验与仿真 | 第45-56页 |
| ·测试PZT 驱动器特性 | 第45-46页 |
| ·测试四象限探测器灵敏度 | 第46-47页 |
| ·标定光杠杆角度灵敏度 | 第47-48页 |
| ·标定微悬臂梁横向弹性系数及结果分析 | 第48-52页 |
| ·AFM 微悬臂梁横向弹性系数的有限元仿真 | 第52-54页 |
| ·微悬臂梁轻敲力测量实验 | 第54-56页 |
| 第六章 总结和展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
