5GHz硅双极晶体管的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-10页 |
| ·微波晶体管的概述 | 第6-7页 |
| ·微波晶体管的发展历程及现状 | 第7-8页 |
| ·本论文的主要工作 | 第8-10页 |
| 第二章 晶体管的频率和噪声特性分析 | 第10-14页 |
| ·晶体管的频率特性 | 第10-11页 |
| ·晶体管的噪声特性 | 第11-13页 |
| ·小结 | 第13-14页 |
| 第三章 高频晶体管设计及参数设计 | 第14-24页 |
| ·晶体管设计概述 | 第14-15页 |
| ·设计指标 | 第15页 |
| ·纵向参数设计 | 第15-18页 |
| ·横向参数设计 | 第18-21页 |
| ·特征频率f_T 初步计算 | 第21-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 第四章 制定工艺流程及单项工艺实验研究 | 第24-48页 |
| ·掩模版的设计及制备 | 第24-25页 |
| ·初步工艺流程制定 | 第25-26页 |
| ·采用比较先进的工艺 | 第26-27页 |
| ·氧化工艺实验 | 第27-31页 |
| ·离子注入及退火实验 | 第31-34页 |
| ·光刻工艺实验 | 第34-39页 |
| ·刻蚀工艺实验 | 第39-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 第五章 流片实验及测试 | 第48-60页 |
| ·流片实验及测试 | 第48-58页 |
| ·流片中出现的问题及解决方案 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论及展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
