| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·微波介质陶瓷的研究现状 | 第10-14页 |
| ·Ba(Zn_(1/3)Nb_(2/3))O_3微波介质陶瓷薄膜的基本性质及其研究现状 | 第14页 |
| ·薄膜的生长模式 | 第14-16页 |
| ·介质陶瓷薄膜的制备技术 | 第16-20页 |
| ·本文的选题依据和主要实验内容 | 第20-23页 |
| 第二章 实验原理、实验设备与测试表征技术 | 第23-28页 |
| ·实验设备 | 第23-25页 |
| ·实验中所需要的主要材料和试剂 | 第25-26页 |
| ·样品的测试和表征 | 第26-28页 |
| 第三章 射频磁控溅射制备钙钛矿结构微波介质陶瓷薄膜的正交分析 | 第28-37页 |
| ·正交试验的原理、过程和方法 | 第28-29页 |
| ·试验结果及分析 | 第29-36页 |
| ·结论 | 第36-37页 |
| 第四章 微波介质陶瓷薄膜的微观结构表征 | 第37-59页 |
| ·溅射功率对微波介质陶瓷薄膜的影响 | 第37-41页 |
| ·溅射气压对微波介质陶瓷薄膜的影响 | 第41-45页 |
| ·退火温度对微波介质陶瓷薄膜的影响 | 第45-52页 |
| ·退火时间对微波介质陶瓷薄膜的影响 | 第52-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-61页 |
| ·本文的主要研究结果 | 第59-60页 |
| ·对今后工作的建议 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第67页 |
| 参加的科研课题 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |