光学平面与五棱镜绝对检验方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-29页 |
| ·课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·平面相对检验法 | 第11-12页 |
| ·牛顿环和牛顿干涉仪测量法 | 第11页 |
| ·菲索干涉仪测量法 | 第11页 |
| ·泰曼-格林干涉仪测量法 | 第11-12页 |
| ·刀口阴影法 | 第12页 |
| ·平面绝对检验法 | 第12-27页 |
| ·液体平面法 | 第12-13页 |
| ·三面互检法 | 第13-24页 |
| ·三面互检法基本原理 | 第13-15页 |
| ·Zernike多项式拟合法 | 第15-17页 |
| ·奇偶函数法 | 第17-19页 |
| ·旋转对称法 | 第19-21页 |
| ·镜面对称法 | 第21-24页 |
| ·其他方法 | 第24页 |
| ·两平晶方法 | 第24-27页 |
| ·伪剪切法 | 第24-26页 |
| ·傅里叶变换法 | 第26-27页 |
| ·其他方法 | 第27页 |
| ·平面绝对检验的应用 | 第27-28页 |
| ·本论文的主要任务 | 第28-29页 |
| 2. 基于两平晶的平面绝对检验 | 第29-41页 |
| ·两平晶测量原理 | 第29-33页 |
| ·测量原理 | 第29-31页 |
| ·实验方案 | 第31-33页 |
| ·理论模拟 | 第33-36页 |
| ·模型建立 | 第33-34页 |
| ·实验仿真 | 第34-36页 |
| ·精度分析 | 第36页 |
| ·实验 | 第36-40页 |
| ·实验系统 | 第36-37页 |
| ·测量步骤 | 第37-39页 |
| ·数据处理 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3. 实验与误差分析 | 第41-49页 |
| ·误差分析 | 第41-43页 |
| ·干涉仪随机误差 | 第41页 |
| ·材料均匀性 | 第41-42页 |
| ·角度旋转误差 | 第42-43页 |
| ·Zernike多项式拟合误差 | 第43页 |
| ·平晶楔角的影响 | 第43页 |
| ·验证实验 | 第43-46页 |
| ·Zygo三面互检 | 第43-44页 |
| ·结果分析 | 第44-46页 |
| ·两平晶绝对检验在实际测量中的应用 | 第46-48页 |
| ·大口径平面的绝对检验应用 | 第46页 |
| ·大口径平面的绝对检验实验 | 第46-47页 |
| ·两平晶方法的其他应用 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4. 五棱镜使用角的绝对检验 | 第49-65页 |
| ·五棱镜的使用角 | 第49-51页 |
| ·五棱镜使用角检验的一般方法 | 第51-54页 |
| ·双测微自准直望远镜法 | 第51页 |
| ·精密测角仪法 | 第51-52页 |
| ·双反射镜辅助的双自准直仪法 | 第52-53页 |
| ·干涉仪上的相对测量法 | 第53-54页 |
| ·五棱镜使用角的绝对检验方法 | 第54-57页 |
| ·两镜法 | 第54-56页 |
| ·三镜法 | 第56-57页 |
| ·实验 | 第57-60页 |
| ·实验装置 | 第57-59页 |
| ·实验结果与分析 | 第59-60页 |
| ·误差分析 | 第60-64页 |
| ·五棱镜的位置误差 | 第60-64页 |
| ·侧垂的误差 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5. 总结和展望 | 第65-67页 |
| ·论文总结 | 第65页 |
| ·有待解决的问题 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
