利用Twin-CGH进行球面和非球面的绝对检验
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1.引言 | 第7-10页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第8-10页 |
| 2.非球面检测技术 | 第10-16页 |
| ·非球面的定义 | 第10-11页 |
| ·非球面表达式 | 第10-11页 |
| ·二次非球面的光学性质 | 第11页 |
| ·现有的非球面检测技术 | 第11-14页 |
| ·Twin-CGH用于非球面检测 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 3.CGH与Twin-CGH | 第16-24页 |
| ·CGH编码原理 | 第16-19页 |
| ·CGH制作 | 第19-20页 |
| ·两个波面混合的Twin-CGH | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 4.利用Twin-CGH进行的扩展球面绝对检验 | 第24-42页 |
| ·球面绝对检验 | 第24-26页 |
| ·五步法分离基底与刻写误差 | 第26-30页 |
| ·实验过程及数据 | 第30-34页 |
| ·实验步骤 | 第31-33页 |
| ·分析软件编制思想及框图 | 第33-34页 |
| ·误差传递的验证 | 第34-41页 |
| ·mm位置 | 第36-38页 |
| ·mm位置 | 第38-39页 |
| ·干涉仪的系统误差 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5.利用Twin-CGH进行非球面的绝对检验 | 第42-56页 |
| ·球面、非球面混合的Twin-CGH | 第42-44页 |
| ·两个波面的相位函数 | 第42-43页 |
| ·融合 | 第43-44页 |
| ·Twin-CGH进行非球面绝对检验的原理 | 第44-46页 |
| ·实验过程及结果 | 第46-55页 |
| ·实验设备 | 第46-48页 |
| ·实验步骤与调整技术 | 第48-51页 |
| ·实验结果 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6.总结 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
