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全频段石榴石薄膜性能及应用基础研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-14页
第一章 绪论第14-29页
   ·石榴石型铁氧体基本结构第14-15页
   ·石榴石薄膜的应用方向第15-16页
   ·光波段-石榴石薄膜材料及器件的发展第16-18页
     ·石榴石磁光薄膜的发展第16-17页
     ·Bi:YIG石榴石薄膜第17-18页
     ·磁光器件的发展第18页
   ·微波段-石榴石材料微波段铁氧体器件及应用第18-22页
     ·微波铁氧体单晶器件的特性及应用第18-20页
     ·微波铁氧体多晶器件的特性及应用第20-22页
   ·太赫兹波段材料及波导器件的发展第22-24页
   ·全波段石榴石薄膜的制备技术第24-26页
   ·论文选题依据及主要研究内容第26-29页
第二章 液相外延大面积石榴石薄膜的制备与性能分析第29-53页
   ·引言第29-31页
     ·微波器件对液相外延石榴石薄膜参数的要求第29页
     ·磁光调制器件对液相外延石榴石薄膜的要求第29-30页
     ·THz波导器件对液相外延石榴石薄膜参数的要求第30-31页
   ·石榴石薄膜液相外延工艺研究第31-38页
     ·石榴石材料的磁性能(4πMs)来源第31-32页
     ·基于无铅工艺的液相外延技术(LPE)第32-34页
     ·无铅工艺的液相外延流程第34页
     ·熔体的制备和性能分析第34-36页
     ·熔体组份和结构均匀性控制工艺研究第36-38页
   ·薄膜微结构和性能分析第38-45页
     ·薄膜微结构与晶格失配度第38-41页
     ·磁性能分析第41-42页
     ·微波性能第42-43页
     ·磁光法拉第效应第43-44页
     ·光吸收性能分析第44-45页
   ·大面积单晶薄膜缺陷控制技术第45-52页
     ·GGG基片晶轴取向偏差对缺陷和材料性能的影响第45-48页
     ·液相外延速率对薄膜形貌和性能的影响第48-52页
   ·小结第52-53页
第三章 集成多晶石榴石薄膜材料制备及性能研究第53-90页
   ·引言第53-54页
   ·一种新的制备靶材的微波烧结方法第54-60页
     ·微波烧结原理与优势第55页
     ·常规烧结与微波烧结YIG材料工艺比较第55-57页
     ·常规烧结与微波烧结结果比较第57-60页
   ·衬底对薄膜磁性能的影响研究第60-72页
     ·气相外延单晶石榴石薄膜第60-61页
     ·其他不同单晶衬底的影响第61-66页
     ·缓冲层的影响第66-72页
   ·退火气氛及溅射气氛对薄膜磁性能的影响第72-74页
   ·RRTA退火工艺对薄膜磁性能的影响研究第74-88页
     ·快速循环纳米晶化量子动力学模型第75-81页
     ·快速循环退火对薄膜磁性能的影响第81-84页
     ·RRTA工艺制备纳米晶Bi:YIG薄膜的磁光性能及透射特性研究第84-88页
   ·小结第88-90页
第四章 石榴石材料在微波段集成器件中的研究第90-114页
   ·引言第90页
   ·静磁表面波的损耗理论第90-93页
     ·静磁表面波基本传输损耗理论第90-91页
     ·换能损耗第91-93页
     ·静磁表面波器件的插入损耗第93页
   ·静磁表面波单磁性层滤波器研究第93-97页
     ·石榴石薄膜性能对单层滤波器性能的影响研究第93-95页
     ·滤波器设计及仿真测试结果第95-97页
   ·双磁性层抑制色散结构及其在静磁表面滤波器中的应用第97-102页
     ·静磁表面波在YIG/介质/YIG/GGG双层结构中的传输特性第97-101页
     ·基于双层结构的静磁表面波滤波器研究第101-102页
   ·YIG多晶薄膜在环形器/隔离器中应用基础研究第102-113页
     ·小型化微带铁氧体环行器的设计第102-108页
     ·环行结的仿真结果分析第108-111页
     ·基片厚度对器件小型化的限制第111-112页
     ·低频薄膜化环行器第112-113页
   ·小结第113-114页
第五章 石榴石薄膜材料在THz波段的应用基础研究第114-133页
   ·太赫兹波传输中波导材料与器件的基本问题提出第114-116页
     ·问题的提出第114页
     ·本章的主要研究内容第114-116页
   ·有关THz材料及器件的基础理论第116-122页
     ·THz波段的时域、频域、吸收的测试理论及折射率、消光系数的计算公式第116-117页
     ·THz波段的磁光子晶体纤维波导理论第117-121页
     ·我们设计的几种典型集成THz波导材料与器件第121-122页
   ·LuBiIG单晶石榴石薄膜的THz响应特性第122-126页
   ·多晶石榴石薄膜中纳米晶粒对THz波吸收性能影响第126-132页
     ·纳米晶石榴Bi:YIG薄膜THz响应特性第127-130页
     ·退火时间对YIG石榴石薄膜THz性能的影响第130-132页
   ·小结第132-133页
第六章 光波段晶体材料应用基础研究——磁光集成开关第133-148页
   ·磁光开关发展动态第133-136页
     ·全光网络与光开关第133-134页
     ·光开关分类以及发展概况第134-136页
   ·纳米晶Bi:YIG材料在光波段的磁光效应增强机理第136-138页
   ·波导型磁光开关原理分析及模型第138-142页
     ·基本原理第138页
     ·结构模型分析第138-139页
     ·磁光薄膜波导计算模型、原理分析及功率转换效率模拟第139-142页
   ·磁光波导器件的设计与制作第142-147页
     ·器件结构设计第142-143页
     ·棱镜耦合法第143页
     ·磁光波导器件光路图第143-144页
     ·波导器件的加工与制作第144-146页
     ·初步调试及测量第146-147页
   ·小结第147-148页
第七章 结论和展望第148-151页
   ·全文工作总结第148-150页
   ·后期工作展望第150-151页
致谢第151-152页
参考文献第152-162页
攻博期间取得的研究成果第162-163页

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