| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-30页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·微机械加速度计的国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·微加速度计的系统集成技术 | 第16-19页 |
| ·微加速度计的接口电路研究状况 | 第19-26页 |
| ·闭环模拟接口电路 | 第19-20页 |
| ·ΣΔ微加速度计接口电路 | 第20-26页 |
| ·微加速度计ΣΔ接口电路研究存在的主要问题 | 第26-27页 |
| ·研究的目的和意义 | 第27-28页 |
| ·论文主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 电容式SIGMA-DELTA微加速度计工作原理及系统级设计 | 第30-47页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·敏感结构数学模型 | 第30-32页 |
| ·信号检测原理 | 第32-34页 |
| ·微机械ΣΔ调制器 | 第34-36页 |
| ·ΣΔ微加速度计系统级设计 | 第36-46页 |
| ·非理想分析与建模 | 第36-39页 |
| ·ΣΔ微加速度计系统设计与仿真 | 第39-43页 |
| ·非理想因素对系统性能的影响 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 电容式SIGMA-DELTA微加速度计噪声模型建立 | 第47-71页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·机械噪声模型 | 第47-48页 |
| ·电路噪声模型 | 第48-55页 |
| ·电路噪声源分析 | 第48-52页 |
| ·电路噪声模型的建立 | 第52-55页 |
| ·量化噪声模型 | 第55-64页 |
| ·ΣΔ微加速度计系统模型 | 第55-58页 |
| ·量化噪声模型建立 | 第58-64页 |
| ·质量块残留运动噪声模型 | 第64-65页 |
| ·电路噪声对量化噪声的影响 | 第65-70页 |
| ·二阶系统中电路噪声对量化噪声影响 | 第65-68页 |
| ·二阶系统中采样频率对量化噪声作用 | 第68-69页 |
| ·高阶系统中电路噪声对量化噪声影响 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 电容式SIGMA-DELTA微加速度计稳定性分析 | 第71-86页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·闭环稳定性 | 第71-79页 |
| ·二阶系统的闭环稳定性分析 | 第71-75页 |
| ·高阶系统的闭环稳定性分析 | 第75-77页 |
| ·结果与讨论 | 第77-79页 |
| ·输入信号相关的稳定性 | 第79-85页 |
| ·二阶系统的输入信号相关的稳定性 | 第80-81页 |
| ·四阶系统的输入信号相关的稳定性 | 第81-82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC设计 | 第86-120页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·敏感结构等效电学模型改进 | 第86-94页 |
| ·传统电学模型及其局限性 | 第86-89页 |
| ·改进的等效电学模型 | 第89-92页 |
| ·等效电学的仿真模型 | 第92-94页 |
| ·四阶ΣΔ微加速度计接口ASIC设计 | 第94-111页 |
| ·整体设计方案 | 第94-95页 |
| ·低电荷泄漏的新型电容-电压转换电路 | 第95-99页 |
| ·相位补偿电路 | 第99-100页 |
| ·二阶积分器 | 第100-101页 |
| ·比较器 | 第101-103页 |
| ·时钟信号产生电路 | 第103-105页 |
| ·传感器失调补偿 | 第105-106页 |
| ·低失调带隙基准电压源 | 第106-110页 |
| ·系统仿真结果 | 第110-111页 |
| ·二阶数模混合输出接口ASIC设计 | 第111-119页 |
| ·整体方案设计 | 第111-112页 |
| ·模拟输出控制器 | 第112-113页 |
| ·单位增益缓冲器 | 第113-116页 |
| ·自检测电路实现 | 第116-117页 |
| ·系统仿真结果 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第6章 测试与分析 | 第120-134页 |
| ·引言 | 第120页 |
| ·四阶ΣΔ微加速度计测试 | 第120-129页 |
| ·单芯片测试 | 第120-123页 |
| ·ΣΔ微加速度传感器测试 | 第123-129页 |
| ·二阶数模混合输出传感器测试 | 第129-133页 |
| ·闭环模拟输出性能测试 | 第130-133页 |
| ·闭环数字输出性能测试 | 第133页 |
| ·本章小结 | 第133-134页 |
| 结论 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-145页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第145-147页 |
| 致谢 | 第147-148页 |
| 个人简历 | 第148页 |
