原子力显微镜定位系统控制策略及误差补偿方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·扫描探针显微镜概述 | 第10-13页 |
| ·扫描探针显微镜分类 | 第10-11页 |
| ·原子力显微镜结构及工作原理 | 第11-13页 |
| ·课题研究背景 | 第13-15页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第15-18页 |
| ·课题研究内容和论文结构 | 第18-20页 |
| 第2章 高速AFM系统定位问题及控制策略研究 | 第20-38页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·AFM系统中定位问题研究 | 第20-28页 |
| ·AFM定位系统描述 | 第20-21页 |
| ·AFM 定位系统动态误差因素分析 | 第21-27页 |
| ·AFM系统工作速度的限制 | 第27-28页 |
| ·AFM定位系统控制方法分析 | 第28-37页 |
| ·传统控制方法研究 | 第28-31页 |
| ·基于逆系统的前馈控制方法 | 第31-33页 |
| ·迭代学习控制 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 高速AFM定位系统控制方法研究 | 第38-56页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·AFM 定位系统x轴向控制策略研究 | 第38-45页 |
| ·x轴向控制方案设计 | 第38-39页 |
| ·开闭环迭代学习控制算法 | 第39-44页 |
| ·控制方法仿真分析 | 第44-45页 |
| ·AFM 定位系统z轴向控制策略研究 | 第45-54页 |
| ·z轴向控制方案设计 | 第45-46页 |
| ·基于逆的“无模型”学习控制算法 | 第46-52页 |
| ·实验结果分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 基于AFM的材料粘弹性纳米测量 | 第56-72页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·基于AFM材料粘弹性测试方法 | 第57-65页 |
| ·基于AFM的力曲线测量 | 第57页 |
| ·材料粘弹性纳米测量方法 | 第57-59页 |
| ·基于逆的“无模型”迭代控制的材料粘弹性纳米测量 | 第59-65页 |
| ·基于自适应滤波的材料粘弹性纳米测量补偿方法研究 | 第65-70页 |
| ·材料粘弹性纳米测量的残余动力学耦合影响 | 第65-66页 |
| ·同态自适应滤波补偿 | 第66-69页 |
| ·补偿结果分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |
