| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第22-42页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第22-25页 |
| 1.2 机器视觉中表面缺陷检测技术研究现状 | 第25-38页 |
| 1.2.1 超光滑光学元件表面中缺陷的机器视觉检测技术 | 第25-30页 |
| 1.2.2 具有复杂纹理的元件表面中缺陷的机器视觉检测技术 | 第30-38页 |
| 1.3 本文研究内容及创新点 | 第38-42页 |
| 1.3.1 本文主要研究内容及章节安排 | 第38-40页 |
| 1.3.2 本论文主要创新点 | 第40-42页 |
| 第2章 超光滑光学元件表面中微弱缺陷检测技术研究 | 第42-66页 |
| 2.1 基于显微散射暗场成像的SSOS中弱划痕缺陷的成像系统研究 | 第42-48页 |
| 2.1.1 超光滑光学元件表面属性分析和成像分析 | 第42-45页 |
| 2.1.2 超光滑光学元件表面微弱划痕的暗场成像特征研究 | 第45-48页 |
| 2.2 复杂图像背景中微弱缺陷分割算法的分析 | 第48-50页 |
| 2.3 基于自适应平滑以及形态学差影的弱划痕检测算法研究 | 第50-63页 |
| 2.3.1 灰度区间的确定以及灰度窗口变换 | 第50-52页 |
| 2.3.2 高斯滤波与弱划痕边界特性的保护研究 | 第52-55页 |
| 2.3.3 背景重构与图像差影法的研究 | 第55-58页 |
| 2.3.4 超光滑光学元件表面中弱划痕检测算法 | 第58-63页 |
| 2.4 本章小结 | 第63-66页 |
| 第3章 单面抛光的光学元件表面中微弱缺陷检测技术研究 | 第66-86页 |
| 3.1 基于同轴入射远心明场成像的SSPOS中微弱划痕缺陷的成像系统研究 | 第67-71页 |
| 3.1.1 单面抛光的光学元件表面属性分析和成像分析 | 第67-68页 |
| 3.1.2 同轴入射远心明场成像系统组成及系统成像特征分析 | 第68-71页 |
| 3.2 基于视觉差励与双次离散傅里叶变换的微弱缺陷提取算法研究 | 第71-84页 |
| 3.2.1 缺陷位置局部显著性的计算研究 | 第71-74页 |
| 3.2.2 缺陷图像的傅里叶变换的特征研究 | 第74-76页 |
| 3.2.3 单面抛光的光学元件表面中微弱划痕的检测算法 | 第76-84页 |
| 3.3 本章小结 | 第84-86页 |
| 第4章 复杂纹理的金属圆弧面中微弱缺陷检测技术研究 | 第86-114页 |
| 4.1 基于多角度入射远心明场成像的CTMAS中微弱划伤缺陷的成像系统研究 | 第87-91页 |
| 4.1.1 复杂纹理的金属圆弧表面属性分析和成像分析 | 第87-88页 |
| 4.1.2 多角度入射远心明场成像系统组成及系统成像特征分析 | 第88-91页 |
| 4.2 基于小波相关性与梯度相似增长的微弱缺陷提取算法研究 | 第91-112页 |
| 4.2.1 复杂纹理的金属弧面图像的去噪与信息增强 | 第92-99页 |
| 4.2.2 图像的纹理分割与纹理相似区域增长 | 第99-103页 |
| 4.2.3 复杂纹理的金属圆弧表面中划痕缺陷检测算法 | 第103-106页 |
| 4.2.4 真伪增长区域判定的研究 | 第106-112页 |
| 4.3 本章小结 | 第112-114页 |
| 第5章 不同属性的元件表面中微弱缺陷的检测实验 | 第114-134页 |
| 5.1 超光滑光学元件表面中微弱缺陷的机器视觉检测实验 | 第114-119页 |
| 5.1.1 显微散射暗场成像系统的搭建 | 第114-115页 |
| 5.1.2 微弱缺陷的检测效果验证及检测准确度的验证 | 第115-119页 |
| 5.2 单面抛光的光学元件表面中微弱缺陷的机器视觉检测实验 | 第119-124页 |
| 5.2.1 同轴入射远心明场成像系统的搭建 | 第119-120页 |
| 5.2.2 微弱缺陷的检测结果评价与缺陷的特征分析 | 第120-124页 |
| 5.3 复杂纹理的金属圆弧面中微弱缺陷的机器视觉检测实验 | 第124-131页 |
| 5.3.1 多角度入射远心明场成像系统的搭建 | 第124-125页 |
| 5.3.2 微弱缺陷的提取效果验证与对比 | 第125-131页 |
| 5.4 本章小结 | 第131-134页 |
| 第6章 总结与展望 | 第134-140页 |
| 6.1 本论文完成工作总结 | 第134-135页 |
| 6.2 本论文主要创新点 | 第135-137页 |
| 6.3 下一步工作展望 | 第137-140页 |
| 参考文献 | 第140-150页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间主要的研究成果 | 第150-151页 |
