利用霍尔芯片测量涂层厚度方法的研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
第一章 绪论 | 第10-16页 |
1.1 研究背景 | 第10-12页 |
1.2 涂层测厚仪的研究现状与发展趋势 | 第12-14页 |
1.3 本文的研究内容和创新点 | 第14-16页 |
第二章 测厚的基本原理 | 第16-42页 |
2.1 永磁法测厚的基本原理 | 第16-28页 |
2.2 电涡流测厚法的基本原理 | 第28-40页 |
2.3 本章小结 | 第40-42页 |
第三章 探头的设计 | 第42-52页 |
3.1 永磁式探头的设计要求 | 第42页 |
3.2 永磁式探头物理结构与参数的设计 | 第42-46页 |
3.3 电涡流式探头的设计要求 | 第46页 |
3.4 电涡流探头物理结构与参数的设计 | 第46-48页 |
3.5 电涡流探头的测试实验 | 第48-50页 |
3.6 本章小结 | 第50-52页 |
第四章 永磁式测厚系统的设计 | 第52-74页 |
4.1 测量系统的硬件设计 | 第52-62页 |
4.2 永磁式测厚系统软件与算法设计 | 第62-71页 |
4.3 本章小结 | 第71-74页 |
第五章 永磁测厚法实验与数据处理 | 第74-84页 |
5.1 实验设计说明 | 第74-77页 |
5.2 实验结果 | 第77-78页 |
5.3 测量数据与模拟结果比较分析 | 第78-80页 |
5.4 测量函数的拟合与计算 | 第80-83页 |
5.5 本章小结 | 第83-84页 |
第六章 电涡流测厚法实验设计与结果分析 | 第84-90页 |
6.1 基于不同基体上的测量实验 | 第84-85页 |
6.2 基于铝基上的测厚实验 | 第85-86页 |
6.3 基于铁基上的测厚实验 | 第86-87页 |
6.4 电涡流测厚法问题汇总及后续解决方法 | 第87-89页 |
6.5 本章小结 | 第89-90页 |
第七章 总结与展望 | 第90-92页 |
7.1 总结 | 第90-91页 |
7.2 展望 | 第91-92页 |
参考文献 | 第92-96页 |
致谢 | 第96页 |